| 產(chǎn)品介紹 | |
| Xα-2H 氣體減壓器。雙級(jí)膜片式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),硬密封結(jié)構(gòu),內(nèi)部電解拋光處理;高壓輸入,低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;適用于半導(dǎo)體級(jí)高純氣體、毒性、腐蝕性、易燃易爆氣體等。 | |
| 主要部件材料 | |
| 閥體 | 316L/316L(VIM+VAR) |
| 膜片 | UNS N06022 |
| 閥針 | 316L / UNS N10276 |
| 密封墊 | PCTFE / PI |
| 手柄 | ABS |
| 閥蓋 | 316L |
| 工作條件 | |
| 進(jìn)口壓力 | 3500psig |
| 出口壓力 | 30,60,100,150psig |
| 原壓變動(dòng) | 0.025psig/100psig 0.075psig/100psig(B2H6/NF3) |
| 工作溫度 | -10 ~ 60℃ |
| 內(nèi)漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 外漏率 | ≤ 1×10-10Pa.m3 /sec.He |
| 流量系數(shù) | 0.05 |
| 內(nèi)表面粗糙度 | Ra ≤ 0.1μm |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | |
| 適用于特氣柜 | |
| 提供 UNS N06022/UNS N10276 內(nèi)部件選項(xiàng) | |
| 每臺(tái)減壓器進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、功能測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè) | |
| 膜片與閥體之間采用金屬對(duì)金屬密封設(shè)計(jì),密封性能 | |




































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