設(shè)計(jì)的X射線分光器可以實(shí)現(xiàn)高靈敏度·高精度分析
X射線取出角決定分析性能,52.5°高取出角更勝

圖為小孔穴中異物的分析實(shí)例。左下圖為鐵(Fe)、右下圖為鈦(Ti)的元素分布。因EPMA-1720具有高取出角,對(duì)表面凹凸明顯的樣品也能進(jìn)行高精度分析。
從SEM觀察到開始分析,簡(jiǎn)便易行,大幅度提高工作效率。
同一顯示器上同時(shí)顯示高靈敏度的光學(xué)圖像和SEM圖像
在同一個(gè)顯示器上觀察光學(xué)圖像和SEM圖像。

通過高靈敏度的CCD可以觀察很暗的樣品。


只需點(diǎn)擊【SEM AUTO】圖標(biāo),就可以根據(jù)事先設(shè)定的條件進(jìn)行SEM圖像的觀察。

只需選定束流目標(biāo)值即可快速、高精度地自動(dòng)設(shè)定束流。
通過聯(lián)動(dòng)控制,束流大小改變后也能保持圖像聚焦?fàn)顟B(tài)。





































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