ELIAS-VUV

發(fā)射譜線分析光譜儀系列

高分辨率的中階梯光柵光譜儀

的中階梯光柵光譜儀，在利特羅（Littrow）結構中擁有的光譜解析能力-用于高分辨率的發(fā)射和吸收譜線的分析，尤其是準分子激光光刻技術。

    · Intensity dynamics of up to 4 orders

    · 光譜解析能力 (2.5 million-10 million)

    · 成像質量

    · 簡單沒有失誤的操作控制

    · Motorized optomechanics

ELIAS的超高分辨率得益于超大中階梯光柵的應用及與之匹配的光路設計——中階梯光柵通過非常高的衍射級次可獲得的理論分辨率（femtometer level）；LTB的工程師通過兩個方面的設計實現(xiàn)超大中階梯光柵的理論分辨率：    

    · 逼近衍射極限的消色差成像光路

    · 足夠高的線色散來確保以5~10個像素（CCD）來解析光譜譜線的半高寬；

ELIAS利用寬達360mm的超大中階梯光柵（Echelle grating）以利特羅（Littow）自準直結構構成光路；ELIAS不同于靠干涉方式測量光譜的分析設備，ELIAS的中階梯光柵的高衍射級次及高級次等效于零級的衍射能量分布，可通過CCD實現(xiàn)寬光譜直拍，因此ELIAS非常適合脈沖激光光譜的分析應用（通過外部TTL觸發(fā)可協(xié)同激光器工作）。ELIAS可以配置背照型科學級CCD作為探測器可獲得非常理想的信噪比（10⁴）

規(guī)格參數(shù)（Specifications）  

ELIAS VUV :ELIAS I 的vacuum-suited型號，用于波長為157nm的F2激光的光譜分析

應用領域（Application）

    · 激光誘導擊穿光譜（LIBS）

    · 準分子激光光刻技術

    · 測量二極管激光器的光譜、時間穩(wěn)定度和固態(tài)激光器的發(fā)射譜線