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公司介紹主營產(chǎn)品

柜谷科技發(fā)展（上海）有限公司專注于為科研工作者和質(zhì)量控制人員提供一站式實驗室產(chǎn)品與配套服務，致力于成為科學服務領域的者與變革者。公司通過自主研發(fā)、品牌運營、品牌代理、實驗室設計規(guī)劃方案等方式為生物醫(yī)藥、新材料、新能源、化工化學、精細化工、食品日化、分析檢測等領域的實驗室提供的綜合服務，覆蓋客戶的研發(fā)準備、研發(fā)過程、研發(fā)后期、生產(chǎn)質(zhì)控等各個階段，提供“一站式”有競爭力的產(chǎn)品和服務，是國內(nèi)的科學服務提供商。

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等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS

等離子清洗機 V1000/1000X/1000XS 產(chǎn)品詳情

13.56MHz高頻輸出的等離子清洗機，搭載RIE·DP雙模式
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調(diào)取數(shù)據(jù)簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構(gòu)造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據(jù)需求規(guī)格提供定制。

用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除

內(nèi)槽

規(guī)格

型號	V1000	V1000X	V1000XS
等離子模式	DP/RIE
高頻電源	13.56MHz
輸出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效電極尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
電極	平行平板	2段電極（獨立）	平板（多目的）
反應氣體	聚合控制器2系統(tǒng)（填充氣路另行安裝）
真空泵（標配）	約1000L/min	約1500L/min	1000 & 1500L/min
安全裝置	門檢測開關、聯(lián)鎖機構(gòu)、緊急停止開關、溫度過升防止器等

管路連接圖

關鍵詞：清洗機真空泵

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
高壓射流清洗試驗機	面議	東莞市	東莞市高天試驗設備有限公司	2026-09-17	在線詢價
二合一氣體檢測儀	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-16	在線詢價
臺上型清洗機	面議	青島市	青島聚創(chuàng)環(huán)保集團有限公司	2026-09-11	在線詢價
小型等離子清洗設備	￥26000	濰坊市	山東優(yōu)云譜光電科技有限公司	2026-09-02	在線詢價
空氣加熱盤管型號：DYK?80	￥10	揚州市	揚州萬安電熱電器有限公司	2026-09-02	在線詢價
BBK高壓清洗機F210T	￥17890	重慶市	重慶津澤機電科技有限公司	2026-08-25	在線詢價

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