378系列--半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS-70的特點
1.此光學(xué)系統(tǒng)最初是為的FS60型（后升為FS70型）而開發(fā)的。它作為測量檢測半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
2.FS70L支持3種YAG激光波（1064nm，532nm,355nm)，F(xiàn)S70L4支持2種波長（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用激光切割和薄膜技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對顯微鏡的激光穖的性能和安全性，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器時應(yīng)仔細(xì)檢查。
3.FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場，微分干涉對比（DIC）和偏振觀測。FS70L和FS70L4不支持DIC。 4.使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長工作距離物鏡的操作很簡單。
5.極易操作的設(shè)計：FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。

378系列--半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS-70的性能參數(shù)

378系列--半導(dǎo)體檢測用顯微鏡FS-70的技術(shù)參數(shù)
對焦
方法：有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）
范圍：50mm測量范圍，微調(diào)0.1mm/rev同心粗調(diào)3.8mm/rev
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調(diào)節(jié)范圍：51-76mm
視場數(shù)：24
俯角：0°-20°(僅用于-TH，THS型號）
照明系統(tǒng)：亮視場反射照明（科勒照明、帶光圈）
光源：12V100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié) ），光導(dǎo)長度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo