專為超大納米平板顯示器測(cè)量而設(shè)計(jì)的自動(dòng)化原子力顯微鏡（AFM）系統(tǒng)

隨著對(duì)大型平板顯示器原子力顯微鏡計(jì)量需求的增加，Park NX-TSH 通過(guò)利用探針掃描器和龍門(mén)式氣浮臺(tái)的結(jié)合，克服了針對(duì)大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測(cè)量，臺(tái)階高度測(cè)量和關(guān)鍵尺寸測(cè)量。

為OLED面板行業(yè)整片測(cè)量，超高尺寸鏡片測(cè)量，提供全自動(dòng)的原子力顯微鏡計(jì)量解決方案。

專為OLED面板行業(yè)整片測(cè)量，LCD測(cè)量提供的全自動(dòng)探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì)
Park原子力顯微鏡公司已經(jīng)擴(kuò)展了原子力顯微鏡設(shè)備的測(cè)量尺寸，Park NX-TSH（龍門(mén)架設(shè)計(jì)平板式探針掃描器）可針對(duì)第八代及大于第八代的所有大型平板顯示器進(jìn)行測(cè)量。專為新一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì)，樣品尺寸可以測(cè)2200 mm。

硅片直徑的變化

使用導(dǎo)電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測(cè)量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設(shè)備或晶圓片上的設(shè)備提供電流。Park NX-TSH用于帶有導(dǎo)電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過(guò)集成微探針站進(jìn)行電氣缺陷分析。

Park NX-TSH特點(diǎn)
克服了樣品大小和重量的限制。
Park原子力顯微鏡公司新開(kāi)發(fā)的探針掃描器結(jié)合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動(dòng)到所需測(cè)量的點(diǎn)。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達(dá)到100µm X 100 μm和Z方向可達(dá)到15 μm ，并有靈活的卡盤(pán)，以適應(yīng)超過(guò)300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤(pán)上，連接在機(jī)架上的探針掃描頭移動(dòng)到樣品表面的測(cè)量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統(tǒng)因此克服了樣品固定在樣品卡盤(pán)上時(shí)候樣品大小和重量的限制。

專為一代顯示器工廠的應(yīng)用需求研發(fā)設(shè)計(jì)，樣品尺寸可以測(cè)到2200 mm.
Park NX-TSH 通過(guò)利用探針掃描器和龍門(mén)式氣浮臺(tái)的結(jié)合，克服了針對(duì)大型和重型樣品進(jìn)行納米計(jì)量的巨大挑戰(zhàn)，可掃描出高分辨率圖像。

具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器

NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測(cè)器代替了通常使用的非線性Z電壓信號(hào)，可為用戶提供高精度測(cè)量。業(yè)界的低噪聲Z檢測(cè)器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號(hào)。 標(biāo)準(zhǔn)Z掃描器由高強(qiáng)度壓電堆驅(qū)動(dòng)，并由撓曲結(jié)構(gòu)引導(dǎo)，具有高共振頻率，可以實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的反饋。使用可選的長(zhǎng)距離Z掃描儀，Z掃描范圍可從15μm擴(kuò)展到40μm。

具有閉環(huán)雙伺服系統(tǒng)的100μmx 100μm柔性導(dǎo)向XY掃描器
XY掃描器由對(duì)稱的二維撓曲和高強(qiáng)度壓電疊層組成，它最小化的面外運(yùn)動(dòng)能提供高度的正交掃描，用的響應(yīng)來(lái)完成納米尺度上精確樣品掃描。XY 掃描器的每個(gè)方向是都裝有兩個(gè)對(duì)稱的低噪聲位置傳感器，在的掃描范圍及大樣品掃描時(shí)能發(fā)揮高效的正交性。

自動(dòng)測(cè)量控制，簡(jiǎn)易操作測(cè)量更精準(zhǔn)！

NX-TSH配備自動(dòng)化軟件，使用測(cè)量程序便可獲得精確的多點(diǎn)分析，并對(duì)懸臂梁調(diào)諧、掃描速率、增益和設(shè)定點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置。

Park人性化設(shè)計(jì)的軟件可使用戶自由訪問(wèn)NX-TSH的全部功能并獲得所需的測(cè)量值。

創(chuàng)建新的測(cè)量程序其實(shí)很簡(jiǎn)單，從開(kāi)始創(chuàng)建到能夠自動(dòng)化運(yùn)行只需大約10分鐘的時(shí)間，而對(duì)創(chuàng)建過(guò)的程序進(jìn)行修改的話也只需不到5分鐘。

Park NX-TSH的全自動(dòng)特征:
自動(dòng)，半自動(dòng)，手動(dòng)模式三種模式隨時(shí)切換控制
提供自動(dòng)化程序的編輯方法
實(shí)時(shí)監(jiān)控測(cè)量過(guò)程
自動(dòng)分析所獲得的測(cè)量數(shù)據(jù)

高精度，高效率
自動(dòng)換針器(ATX)
ATX通過(guò)模式識(shí)別自動(dòng)定位針尖，并使用一種新的磁性方法來(lái)取放新舊探針。激光光斑通過(guò)電動(dòng)定位技術(shù)自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)。

電離系統(tǒng)可提供更穩(wěn)定的掃描環(huán)境
我們創(chuàng)新的電離系統(tǒng)可快速有效地去除樣品環(huán)境中的靜電荷。 由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周?chē)鷧^(qū)域，并且將在樣品處理過(guò)程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至。

Park NX-TSH技術(shù)參數(shù)
*本技術(shù)參數(shù)是可定制的。 請(qǐng)咨詢Park原子力顯微鏡，以獲取更多信息。

系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
樣品尺寸*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg

電動(dòng)式X方向載物臺(tái)*
travels up to 625 mm, ± 3 µm分辨率

電動(dòng)式Y(jié)方向載物臺(tái)*

行程達(dá)525 mm, ± 3 µm分辨率

電動(dòng)式Z方向載物臺(tái)*
Z軸移動(dòng)距離為25 mm, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重復(fù)性

電動(dòng)式對(duì)焦臺(tái)*
Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm

COGNEX圖案識(shí)別
圖案校對(duì)分辨率為1/4像素

掃描器
性能
XY掃描范圍
100 μm × 100 μm

XY分辨率
0.15 nm

Z掃描范圍
15 μm

Z分辨率
0.016 nm

AFM和XY移動(dòng)平臺(tái)
控制器
ADC
18個(gè)頻道
4個(gè)高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置傳感器(24位ADC)

DAC
17 channels
2個(gè)高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
合規(guī)
CE
SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)

振動(dòng)，噪聲，靜電防護(hù)（ESD）性能
地板振動(dòng)要求
< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)

噪音
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure

基礎(chǔ)設(shè)施需求
待機(jī)室溫
10 °C ~ 40 °C

工作室溫
18 °C ~ 24 °C

濕度
30%至60% (不凝結(jié))

地板振動(dòng)要求
VC-E (3 µm/sec)

噪音
低于65 dB

氣動(dòng)式
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa

電源額定值
208V - 240 V,單相, 15 A ()

總耗電量
Consult Park Systems

接地電阻
低于100歐姆

選項(xiàng)
自動(dòng)換針器 (ATX)
ATX通過(guò)模式識(shí)別自動(dòng)定位針尖，并使用一種新的磁性方法來(lái)取放新舊探針。

電離系統(tǒng)
電離系統(tǒng)可快速有效地去除靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周?chē)鷧^(qū)域，并且將在樣品處理過(guò)程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至。

尺寸 & 重量
NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作員工作空間: 最小3700 mm (w) x 3000 mm (d)