用于故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測(cè)量敏感度以及原子力顯微鏡測(cè)量的可重復(fù)性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測(cè)量具有準(zhǔn)確度高、可重復(fù)性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點(diǎn)，因此用戶可測(cè)量各種故障分析應(yīng)用中許多信號(hào)響應(yīng)，例如掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高精確度和高分辨率測(cè)量的材料科學(xué)研究遠(yuǎn)離氧氣與其它藥劑的影響。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴(kuò)散電阻顯微鏡測(cè)量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對(duì)樣本和針尖的損傷。如此可延長(zhǎng)各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進(jìn)行的高真空掃描擴(kuò)散電阻顯微術(shù)測(cè)量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準(zhǔn)確性的明智選擇。

Park Hivac 管理器
NX-Hivac 真空自動(dòng)控制
Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實(shí)現(xiàn)高真空。各個(gè)過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡(jiǎn)便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。

高級(jí)自動(dòng)化特點(diǎn)
NX-Hivac具有大量功能從而能夠減少用戶輸入。換言之，您可以更快速地掃描，提高實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)量。

配備電控載物臺(tái)的StepScan 自動(dòng)化掃描
StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M(jìn)行編程從實(shí)現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動(dòng)電動(dòng)平臺(tái)至用戶定義坐標(biāo)區(qū)域、進(jìn)針及重復(fù)掃描。如此可極大地提高生產(chǎn)率，減少用戶輸入。

電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)
Park電動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)使用戶無需輸入即可無縫銜接自動(dòng)化測(cè)量例程。憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架，在更換探針時(shí)激光已對(duì)準(zhǔn)懸臂。只需要調(diào)整定位旋鈕，便可在X和Y軸上任意定位激光光點(diǎn)，達(dá)到位置。

提高精度和生產(chǎn)率
NX-Hivac即是精準(zhǔn)的高性能原子力顯微鏡，同時(shí)也是用于故障分析的方便的原子力顯微鏡之一。Park NX-Hivac幫您可以提高自己的生產(chǎn)效率，并確保取得靠譜的結(jié)果。

閉環(huán)XY和Z軸掃描儀
利用兩個(gè)獨(dú)立的閉環(huán)XY和Z軸撓曲掃描儀，您可以確信掃描的高精準(zhǔn)度。NX-Hivac提供低殘余彎曲的平面和正交XY軸掃描，使得整個(gè)掃描范圍內(nèi)的離面運(yùn)動(dòng)距離低于1 nm。此外，NX-Hivac的特色還有非線性為低于0.5%的15 μm掃描范圍的高速Z軸掃描儀，無需進(jìn)行軟件后期處理即可獲得精準(zhǔn)的二維和三位測(cè)量。

低噪聲XYZ軸位置傳感器
NX-Hivac具有Park原子力顯微鏡行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器功能，可準(zhǔn)確測(cè)量樣本形貌，同時(shí)低噪聲XY軸閉環(huán)掃描將前后掃描間隙降低至掃描范圍的0.15%。

24位數(shù)字電子控制器
24-bit-digital-electronics
NX-Hivac的一大特點(diǎn)是NX系列電子控制器可實(shí)現(xiàn)時(shí)間浪費(fèi)最小化、精度。我們的控制器為全數(shù)字、24位高速器件，用戶能夠利用其執(zhí)行一系列掃描，包括我們的真正非接觸（True Non-Contact）模式?？刂破骶哂械驮肼曉O(shè)計(jì)和高速處理部件，是精密電壓和電流測(cè)量及納米級(jí)成像的之選。嵌入式電子產(chǎn)品同時(shí)具有數(shù)字信號(hào)處理特點(diǎn)，用戶可輕松地分析測(cè)量值和成像。

Park NX-Hivac技術(shù)參數(shù)

掃描器
Z掃描器
柔性引導(dǎo)高推動(dòng)力掃描器

掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
高度信號(hào)噪聲等級(jí): 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz bandwidth)

XY掃描器
閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

掃描范圍: 100 µm × 100 µm
(可選50 µm × 50 µm)

驅(qū)動(dòng)臺(tái)
Z位移臺(tái)行程范圍 : 24 mm (Motorized)
聚焦樣品臺(tái)行程范圍 : 11 mm (Motorized)
XY位移臺(tái)行程范圍 : 22 mm x 22 mm (Motorized)

樣品架
樣品大小: 尺寸為 50 mm x 50 mm, 厚度值為 20 mm
樣品重量 : < 500 g

光學(xué)
10倍超長(zhǎng)工作距離鏡頭
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
CCD : 5 M pixel

物理信息內(nèi)真空室: 300 mm x 420 mm x 320 mm
外部真空 (including granite & pump) : 800 mm x 950 mm x 1240 mm

高真空
真空等級(jí): 通常小于 1 x 10-5 torr
托泵速 : 使用渦輪和干式泵在約5分鐘內(nèi)達(dá)到 10-5 torr

軟件
SmartScan™
AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集軟件
智能模式的快速設(shè)置和簡(jiǎn)易成像
手動(dòng)模式的高級(jí)使用和更精密的掃描控制

XEI
AFM數(shù)據(jù)分析軟件

真空管理器
自動(dòng)真空控制軟件

電子
集成功能
4通道靈活的數(shù)字鎖相放大器
彈簧常數(shù)校準(zhǔn)（熱法，可選）
數(shù)字Q控制

外部信號(hào)接入
20個(gè)嵌入式信號(hào)輸入/輸出端口
5個(gè)TTL輸出 : EOF、EOL、EOP、調(diào)制和交流偏置

AFM模式
(*Optionally available)
標(biāo)準(zhǔn)成像
真正非接觸原子力顯微鏡
PinPoint™原子力顯微鏡
接觸式原子力顯微鏡
側(cè)向力原子力顯微鏡(LFM)
相位成像
輕敲式原子力顯微鏡

力值測(cè)試
力距離(F/d)光譜
力體積成像

介電/壓電特性
靜電力顯微鏡 (EFM)
動(dòng)態(tài)接觸式靜電力顯微鏡 (EFM-DC)
壓電響應(yīng)力顯微鏡 (PFM)
高壓PFM*

機(jī)械性能
力調(diào)制顯微鏡 (FMM)
納米壓痕*
納米刻蝕*
高壓納米刻蝕*
納米操縱*

磁學(xué)特性*
磁力顯微鏡(MFM)

電學(xué)特性
導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM)*
電流-電壓分光譜*
開爾文探針力顯微鏡 (KPFM)
掃描電容顯微鏡 (SCM)*
掃描擴(kuò)展電阻顯微鏡 (SSRM)*
掃描隧道顯微鏡 (STM)*