概要

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體連續(xù)監(jiān)測(cè)，主要應(yīng)用于空分和半導(dǎo)體行業(yè)。

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO₂ 和 CH₄) 的感度連續(xù)測(cè)量。

特征

感度分析

• 采用交替流動(dòng)調(diào)制方式的非分光紅外吸收原理可以實(shí)現(xiàn)無零點(diǎn)漂移的長(zhǎng)期安定的連續(xù)測(cè)量。

• 小檢出限可達(dá)10ppb，尤其適合追求高精度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。

• 使高純氣體中的痕量氣體檢測(cè)成為可能。典型平衡氣氣體N₂，O₂，He，Ar，H₂和空氣。

操作簡(jiǎn)單，無需維護(hù)

• 使用時(shí)無需任何特使操作，校正和測(cè)量等全部操作均可在顯示畫面上進(jìn)行。

• 采用HORIBA的    技術(shù)-交替流動(dòng)調(diào)制方式，無需光學(xué)調(diào)整，無需維護(hù)。

• 彩色液晶顯示屏，觸摸操作可以顯示彩色趨勢(shì)圖，有更好的可視性 。

典型應(yīng)用

一般情況下，作為工業(yè)用氣體使用的氧氣，氮?dú)馐峭ㄟ^空氣分離來制造的。

首先將除去水分和CO₂的原料空氣通入分離裝置，分離裝置時(shí)利用氮?dú)?、氬氣和氧氣三者氣體的沸點(diǎn)不同進(jìn)行分離出不同氣體。

氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。

GA-370測(cè)量實(shí)例。高純度氮?dú)狻鍤狻⒀鯕庵圃煨袠I(yè)痕量氣體的測(cè)定。

除去水分、CO₂后原料氣體中痕量氣體的測(cè)量。

測(cè)量原理

交替流動(dòng)調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理

GA-370用一束紅外光透過檢測(cè)室射入檢測(cè)器，測(cè)量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測(cè)室。

測(cè)量樣氣和參比氣體使用相同的氣體（例如零點(diǎn)氣體）時(shí)，無法產(chǎn)生調(diào)制信號(hào)，因此不會(huì)產(chǎn)生漂移，解決了 痕量氣體分析中的零點(diǎn)漂移宜問題。

而且使用雙光路檢測(cè)氣室，以相反的相位導(dǎo)入測(cè)量樣氣和參比氣體，可實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期安定穩(wěn)定運(yùn)行，無需光學(xué)調(diào)整。

氣體流程圖

規(guī)格

* 注 1) 參比氣體和量程氣由用戶提供，氣瓶的精度需滿足測(cè)試要求。
* 注 2) GA-370 痕量氣體分析儀在特殊場(chǎng)合下并不安全。例如，在含H2的環(huán)境中使用時(shí)需配合防爆小屋以避免爆炸。