與MODEL6600相比，新開(kāi)發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高，重現(xiàn)性更好，能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。
本產(chǎn)品用于高靈敏度的分析儀器、研究開(kāi)發(fā)或半導(dǎo)體制造設(shè)備。

• 具有低壓側(cè)高精度控制的特性
  將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa，在此條件下對(duì)于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化，具有重現(xiàn)性在±1％以內(nèi)的高控制性能。
• 不使用潤(rùn)滑油
  接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹(shù)脂制成，不使用任何潤(rùn)滑油，需要保持純凈狀態(tài)的半導(dǎo)體領(lǐng)域等。
• 防松螺母結(jié)構(gòu)
  通過(guò)防松螺母固定設(shè)定過(guò)一次的壓力調(diào)節(jié)位置，可防止設(shè)定發(fā)生變化。
• 不滲液型
  本產(chǎn)品屬于不滲液型，不會(huì)發(fā)生氣體外泄，請(qǐng)您放心使用。

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