YUTAKA集成用壓力控制機L12系列
YUTAKA集成用壓力控制機L12系列
半導(dǎo)體制造用壓力控制機,集成用壓力控制機L12系列,L12H系列,L12V系列,L12SHS3W01V212WK,小型集成用壓力控制機L18HSS,L18HSH,L18HSV,L18HVH,L18HSHCL2,L18HSVA3G0107F40GF,高壓用集成用壓力控制機L20SS,L20SH,L20SS-CO,L20SSB2W13HB0434M78FQI,L2ISS,L21SH,L21SS-C0,L21SHA4G2J1022M36F2GCO,L61SS,L61SS-CO,L62SS,L62SH,L62SS-CO,L62SS-I,二段式集成用壓力控制機L81SS,L81SH,L81SS-N20,L81SS-CO,L81SS-NH3,L88SS,L6SS,L96SH,L96SS-CO,低壓用集成用壓力控制機L26SS,L26SH,L26SH-CL2,L26SS-N2O,L26SS-CO,L26SS-NH3,L35SS,L35SH,L35SH-CL2,L35SS-N2O,L35SS-CO,L35SS-NH3,L36SS,L36SH,LH1SS,LH1SS-CO,LH2SS,LH2SH,LH2SS-C0,LH2SH-CL2,LH2SS-N20,LH2SS-NH3,LM1SS,LM2SS,LL1SS,LL2SS
產(chǎn)品介紹
L12系列
本器L12系列是根據(jù)1.125英寸SEMI規(guī)格設(shè)計的壓力調(diào)節(jié)器。
集積化氣體供應(yīng)系統(tǒng)用1.125英寸、1.5英寸的W密封、C密封。
高流量和真空規(guī)格以及面部密封接口類型也包含在內(nèi)。
L18H系列
本器L18H系列是符合1.5英寸SEMI規(guī)格的塊狀壓力調(diào)節(jié)器,專為裝置制造商的集成氣體供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)計的產(chǎn)品。此外,作為L18產(chǎn)品的后繼產(chǎn)品,其流量特性性能得到了大幅提升。
本體焊接接頭規(guī)格也非常適合閥箱的節(jié)省空間用途。
從前制L18系列中釋放約2倍的流量(面間尺寸相同)
隔膜外部密封采用金屬密封。
L20系列
本器L20系列是為高壓型半導(dǎo)體工藝制造氣體設(shè)計的產(chǎn)品,其基本結(jié)構(gòu)采用外部金屬密封和焊接接頭規(guī)格,具有出色的外部泄漏和顆粒性能。此外,為了能夠?qū)?yīng)多種高純度氣體,我們提供了豐富的選項,非常適合用于氣瓶柜。
















































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