. 電壓源(輸出)
輸出量程:±200 mV、±2 V、±20 V、±200 V
輸出:±210 V
編程分辨率:5 μV
輸出功率:單通道連續(xù)2.2 W
源精度:±(0.02% 讀數(shù) + 200 μV)
建立時間:滿量程<100 ms
2. 電壓測量
測量范圍:1 μV ~ ±211 V
分辨率:1 μV(200mV 檔)
輸入阻抗:>101? Ω(所有電壓量程)
測量精度:±(0.012% 讀數(shù) + 100 μV)
四線 Sense 同步采樣,消除引線壓降誤差
3. 電流源(輸出)
輸出量程:±1 pA ~ ±100 mA 多檔分段
輸出電流:±100 mA
最小編程電流:0.5 fA
四象限雙向源 / 阱,可吸收器件反向電流
4. 電流測量(核心強項,分檔精度)
| 量程 | 分辨率 | 1 年精度 ±(% 讀數(shù) + 偏移) | 典型噪聲 |
|---|---|---|---|
| 1 μA~100 mA |
最小可測電流:10 aA(10?1? A)
建立時間:
1pA/10pA 檔:<2 s
100pA~10nA:<50 ms
100nA 及以上:<5 ms
5. 電阻測量
測量區(qū)間:1 μΩ ~ >20 TΩ(2×1013 Ω)
四線開爾文模式,消除測試線電阻
高阻檔自動加壓測流,適配絕緣、薄膜、介質(zhì)材料
6. 采集速度與緩存
讀數(shù)速率:2000 讀數(shù) / 秒(存入儀器內(nèi)存)
GPIB 總線輸出: 75 組源測數(shù)據(jù) / 秒
內(nèi)置緩存:可存儲數(shù)千組 I-V 采樣點,離線繪圖分析
7. 通訊與 IO 接口
標(biāo)配:IEEE488 GPIB、數(shù)字觸發(fā) IO(可編程輸入輸出,產(chǎn)線自動分選)
三軸低噪聲輸入接口(主機 + 遠(yuǎn)程前置放大器)
兼容 SCPI 指令,支持 LabVIEW、Python、C/C++ 自動化
8. 硬件、環(huán)境、機械規(guī)格
遠(yuǎn)程前置放大器
尺寸:20×57×97 mm,連接線最長 2 m,三軸屏蔽防漏流
主機整機
外形(不含手柄):89 mm (H) × 213 mm (W) × 370 mm (D)
帶手柄支腳:104×238×370 mm
整機重量:5.9 kg
供電:100~240 VAC 50/60 Hz, 100 VA
預(yù)熱:1 小時達(dá)到標(biāo)稱精度
工作溫度:0 ℃ ~ 40 ℃;存儲 - 20~70 ℃
安全 / EMC:符合 EN61010、FCC Class B
9. 保護機制
三、典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體微電子測試
MOSFET 柵極漏電流、High-K 介質(zhì)薄膜漏電、二極管反向飽和電流、單電子晶體管 SET、量子點微弱隧穿電流、模擬開關(guān)關(guān)態(tài)漏流。
光電器件暗電流測試
光電探測器、CCD、太陽能電池暗電流(nA/fA 級)、LED 反向偏置漏電。
高阻材料 / 絕緣表征
高分子聚合物、納米線 / 碳納米管、二維材料、陶瓷絕緣膜、PCB 絕緣電阻、電容器自放電漏流,測量 TΩ 級超高阻抗。
電化學(xué)與生物科研
微電極微弱氧化還原電流、細(xì)胞膜微電流、微量電荷檢測。
器件可靠性老化
長期監(jiān)測微小漏電漂移、介質(zhì)擊穿前預(yù)漏電檢測。
四、與 2602B 簡單對比(選型區(qū)分)
6430:單通道、亞飛安小電流、200V 高壓、2.2W、帶分離前置放大器,側(cè)重科研微弱漏流、超高阻;
2602B:雙通道、 40V、每路 40W/10A 脈沖,側(cè)重功率器件、MOS、LED 量產(chǎn) IV 曲線,大電流脈沖測試。








































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