一、功能及技術(shù)指標(biāo)
1）該標(biāo)準(zhǔn)裝置可以開展：

JJF 1062-1999 電離真空計校準(zhǔn)規(guī)范

JJF 1050-1996 工作用熱傳導(dǎo)真空計校準(zhǔn)規(guī)范

JJG 932-1998  壓阻真空計檢定規(guī)程

JJF 1062-2022 電離真空計校準(zhǔn)規(guī)范（電離真空計新規(guī)范23年實行）

JJG 882-2019  壓力變送器檢定規(guī)程（絕壓壓力變送器）等規(guī)程、規(guī)范的校準(zhǔn)業(yè)務(wù)。

2）技術(shù)指標(biāo)

1．型號：WCZK12-02

2．測量范圍：（1~10000）Pa

3．電源：AC220V±10% 50HZ

4．功率：300W

5．控制電壓：DC24V

6．工作環(huán)境：（15~35）℃ 50%RH 以下

7．測量范圍：（1~10000）Pa

3）技術(shù)指標(biāo)

二、具體參數(shù)

1）中低真空標(biāo)準(zhǔn)器：電容薄膜真空計

2）高真空標(biāo)準(zhǔn)器：電離真空計，

測量范圍：（1×10³～2×10^-6）Pa；精度：±10%rdg

高真空校準(zhǔn)室尺寸：球形真空室內(nèi)徑ф350mm,體積大約為30.5L。

中低真空校準(zhǔn)室：球形真空室內(nèi)徑ф250mm,體積大約為10L

3）校準(zhǔn)室：校準(zhǔn)室為雙球真空室，其中高低真空校準(zhǔn)室分離，雙高真空系統(tǒng)

4）高真空校準(zhǔn)室尺寸：球形真空室內(nèi)徑ф350mm,

5）中低真空校準(zhǔn)室：球形真空室內(nèi)徑ф250mm

6）極限真空：高真空部分： 上球室優(yōu)于2×10^-6Pa；下球室達(dá)到1×10^-6 Pa；

中低真空部分：校準(zhǔn)室優(yōu)于5×10^-4 Pa。

7）高真空校準(zhǔn)室烘烤溫度：（室溫-200℃）可任意設(shè)定

8）烘烤溫度：室溫-200℃)可任意設(shè)定

9）閥門：主閥為超高真空插板閥；

10）泵：主泵為分子泵

11）球型校準(zhǔn)室和管道不銹鋼材料均為304或316L，并且對整體材料進(jìn)行電拋光處理. 

12）裝置結(jié)構(gòu)和裝置外形尺寸

13）主機(jī)一臺，出具省級以上計量單位的溯源證書，提供上門安裝培訓(xùn)服務(wù)

 真空應(yīng)用技術(shù)優(yōu)勢，精確的數(shù)據(jù)處理能力；

三、功能特點

1）真空穩(wěn)定性能突出，100Pa以下優(yōu)于2%，100Pa 以上優(yōu)于 1%；

2）同時可檢測 4~8 個傳感器，被檢傳感器之間互不影響；

3）整機(jī)尺寸小，可快速分離真空艙，保障整套裝置運輸；

4）配置有信號輸入輸出接口，便于在線檢測傳感器以及讀取標(biāo)準(zhǔn)傳感器信號

5）供電電源 220V±10%；

6）檢測效率高，任一真空值之間穩(wěn)定時間約（1~10）min，大部分測量點可以保證 2min 內(nèi)穩(wěn)定；

7）不需其他任何裝置即可正常工作（不需要外接氮氣）；

8）復(fù)雜環(huán)境下可正常工作；

9）設(shè)備尺寸：（600*600*1400）mm；重量：約400斤

PLC操作界面

四、 系統(tǒng)設(shè)計

1標(biāo)準(zhǔn)器具

a)低真空部分: 真空采用4只電容薄膜規(guī)。

b）主標(biāo)準(zhǔn)器：高真空部分采用SmartFB-A,此標(biāo)準(zhǔn)器采用國際共認(rèn)精度Thyracont的熱陰極全量程電離真空計VSH89D。測量范圍（1×10³～1×10^-7）Pa,該真空計精度為±10%rdg.基礎(chǔ)上進(jìn)行獨立校準(zhǔn)數(shù)據(jù)修正，將真空示值誤差控制在±10%rdg.。上級計量單位溯源范圍（1～1×10^-4）Pa。 該標(biāo)準(zhǔn)器原理和MKS 370GP一致，可以保證送檢量值的可靠性，同時避免被卡脖子，可以提供長期質(zhì)保（三年）。

2校準(zhǔn)室基本配置

采用高低很空校準(zhǔn)室分離，雙高真空系統(tǒng)設(shè)計?？梢员Ｕ细哒婵招?zhǔn)室嚴(yán)格按照動態(tài)比對法真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的要求，接近理想狀態(tài)。實現(xiàn)壓力值的穩(wěn)定性。中、低真空校準(zhǔn)是室按照低真空校準(zhǔn)要求設(shè)計，操作便捷，適于開展校準(zhǔn)工作為特點。同時采用兩套單獨的高真空系統(tǒng)，有利于操作簡單和保證系統(tǒng)的各項技術(shù)指標(biāo)。

超高真空校準(zhǔn)室采用雙球真空室。主泵采用美國KYKY的FF-160C系列分子泵。中、低真空校準(zhǔn)室采用KYKY公司的FF100/150，該分子泵操作方便，經(jīng)久耐用。主閥采用川北的超高真空插板閥，便于系統(tǒng)充氣以及高真空的保持，同時可以切換對低真空校準(zhǔn)室抽氣。前級真空泵采用BAOS的GSP-3  無油渦旋真空泵，噪音低極限真空好。監(jiān)測規(guī)采用上國光或正華公司生產(chǎn)的ZJ12 B-A規(guī)，測量范圍10^-2～10^-8pa。中低真空監(jiān)測規(guī)采用ZJ-27測量范圍1～5×10^-6pa。

3校準(zhǔn)室基本結(jié)構(gòu)

真空室為雙球真空室，為保證穩(wěn)壓室給校準(zhǔn)室進(jìn)氣的均勻度，在校準(zhǔn)室上方裝有散流孔。上下真空室之間用金屬密封法蘭連接，中間有限流小孔。上下校準(zhǔn)室赤道上各備有5-7個DN40CF法蘭接口，（任意兩個法蘭通過球心直線互不相對，錯開一定的角度，避免校準(zhǔn)時的參數(shù)相互影響。）用來接被校規(guī)、比對規(guī)和四極質(zhì)譜等。用EDWARDS微調(diào)閥對校準(zhǔn)室進(jìn)行壓力控制。同時還可以通過小孔c1控制前級壓力的來計算校準(zhǔn)室壓力。

在下球室底部裝有CF150法蘭與主泵連接。分子泵與前級真空泵之間通過電磁閥用波紋管連接。在分子泵、前級真空泵之間安裝真空規(guī)，對前級壓力監(jiān)測。

4中、低真空校準(zhǔn)室基本配置

中、低真空校準(zhǔn)室為球形真空室，內(nèi)徑ф250mm，體積10L。主閥采用手動閘板閥，通過手動微調(diào)閥控制校準(zhǔn)室壓力，實現(xiàn)熱傳導(dǎo)真空計的校準(zhǔn)以及給高真空校準(zhǔn)室提供穩(wěn)壓氣源。中低真空監(jiān)測規(guī)采用復(fù)合真空計，電離規(guī)ZJ-27，測量范圍10^-1～5×10^-6Pa。

5測量和控制系統(tǒng)

采用PLC控制，觸摸屏顯示真空系統(tǒng)，溫度真空度等。管道閥門采用電氣動閥門，真空系統(tǒng)實現(xiàn)自動和手動兩種控制模式。通過水壓繼電器對冷卻水壓力進(jìn)行監(jiān)控?？筛鶕?jù)用戶要求實現(xiàn)計算機(jī)數(shù)據(jù)采集，原始記錄自動生成等功能軟件開發(fā)。

定州加熱套，加熱烘烤系統(tǒng)采用溫度可控。穩(wěn)壓室、上游室和下游室溫度可監(jiān)測。

五、校準(zhǔn)室材料及處理

1 材料

球形校準(zhǔn)室以及管道材料采用304或316L。

2 焊接和真空熱處理

采用自熔氬弧焊進(jìn)行焊接，球形校準(zhǔn)室在焊接前先清洗，確保超高真空的焊接要求。能夠采用內(nèi)焊的全部采用內(nèi)焊。腔體焊接后在高真空燒氫爐內(nèi)燒氫處理。

3 清洗

校準(zhǔn)室及穩(wěn)壓室在焊接、氦質(zhì)譜檢漏全部完成后，全部零部件行超聲波清洗以及電拋光。

六、配件及其它

除進(jìn)口閥門外采用川北真空的產(chǎn)品，校準(zhǔn)室的極限真空度由B-A規(guī)測量，并驗收。本公司提供全套真空設(shè)備操作和鑒定員的培訓(xùn)。并長期提供的技術(shù)和設(shè)備支持。