一、簡介：

CL-6激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可對米進行定義，且溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器，在高速采集、高動態(tài)同步觸發(fā)等應(yīng)用方面，優(yōu)于進口設(shè)備。

激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)4m/s 的測量速度，以及納米級的分辯力，采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文語言，友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/span>

二、主要功能

（1）結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸 等幾何參量的高精密測量；

（2）檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度 等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析 等，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

三、主要技術(shù)指標(biāo)

1        測量方式                雙頻

2        穩(wěn)頻精度                0.02ppm

3        動態(tài)采集頻率           50kHz

4        預(yù)熱時間                ≤6 分鐘

5        空氣溫度傳感器          ±0.1℃(0～40)℃ , 分辨力 0.01℃

6        材料溫度傳感器          ±0.1℃(0～55)℃ , 分辨力 0.01℃

7        空氣濕度傳感器          ±6%RH(0～95)%RH

8        大氣壓力傳感器          ±0.1kPa(65～115)kPa

9        測量距離                (0～80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)

10       測量精度                0.2ppm(0～40)℃

11       測量分辨力              1nm

12       測量速度           4m/s

13       便攜箱尺寸             613mm×460mm×230mm

14       標(biāo)準(zhǔn)配置重量            18kg

15       供電電源                （100～240）VAC

16       供電功率                60W

17       工作溫度范圍            (0～40)℃

18       存儲溫度范圍            (-20～70)℃

19       環(huán)境濕度                (0～95)%RH

20       激光安全等級           達到 Class Ⅰ要求

四、應(yīng)用場景

激光干涉儀是一種利用激光的干涉原理來測量物體尺寸和位置變化的高精度測量工 具。它在許多領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用，以下是一些典型的激光干涉儀使用場景：

在現(xiàn)代制造業(yè)的領(lǐng)域，激光干涉儀發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。在工業(yè)制造中的精密 測量，激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級甚至納米級的位移測量，是精密儀器研發(fā)和生產(chǎn)中不 可或缺的工具。

在機械加工和精密制造中，激光干涉儀用于校準(zhǔn)機床、測量工具和加工件的精度。例 如，在集成電路制造中，激光干涉儀是光刻機在線位移測量的核心部件，用于測量和校準(zhǔn) 晶圓的平整度和光刻設(shè)備的精度。

表面形貌測量：激光干涉儀可以測量微觀表面的凹凸及表面光滑度，廣泛應(yīng)用于材料 科學(xué)、納米科技等領(lǐng)域。質(zhì)量控制：通過激光干涉儀，可以檢測光學(xué)元件的表面形貌和光 學(xué)特性，從而有效控制產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域，生物組織測量：激光干涉儀能夠測量生物組織的變形、變量等參 數(shù)，為醫(yī)學(xué)研究和醫(yī)療診斷提供重要數(shù)據(jù)。

振動分析領(lǐng)域，機械部件檢測：激光干涉儀可以對機械部件或振動體進行振動頻率、幅度 等參數(shù)的測量，幫助進行機械工程的研究和調(diào)試。

在測量實驗室作為長度基準(zhǔn)使用。

在航空航天工業(yè)，激光干涉儀用于測量和校準(zhǔn)飛機部件、衛(wèi)星組件和航天器的精密尺 寸。

在光學(xué)領(lǐng)域，激光干涉儀用于測試和校準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)的性能，如鏡頭、反射鏡和光學(xué)元 件。

汽車制造商使用激光干涉儀來確保汽車零部件的制造精度和裝配質(zhì)量。

激光干涉儀因其高精度和非接觸性的特點，在需要精確測量和校準(zhǔn)的場合中發(fā)揮著 不可替代的作用。