在超大型半導(dǎo)體晶圓制造、特大型生物醫(yī)藥生產(chǎn)基地、重型裝備制造集群等對(duì)氣源潔凈度有較高要求的超大流量工業(yè)場(chǎng)景中，一款適配工況的不銹鋼精密油霧過(guò)濾器，是守護(hù)后端精密氣動(dòng)元件、全鏈路工藝穩(wěn)定運(yùn)行的重要配套部件。從晶圓制造車間的氣源油霧防護(hù)，到生物制藥企業(yè)超大規(guī)模無(wú)菌用氣的油分預(yù)處理，再到重型裝備加工集群潔凈氣源的精細(xì)除油，過(guò)濾器的運(yùn)行狀態(tài)會(huì)直接影響整條用氣鏈路的長(zhǎng)期穩(wěn)定性，未被充分?jǐn)r截的油霧進(jìn)入后端系統(tǒng)，可能帶來(lái)元件積油卡滯、工藝物料被油分污染、檢測(cè)數(shù)據(jù)偏差等一系列連鎖影響。MSF2900D-SUS好利旺SUS超級(jí)油霧過(guò)濾器，依托ORION好利旺多年在壓縮空氣油霧分離領(lǐng)域的技術(shù)積累，針對(duì)超大流量高潔凈用氣場(chǎng)景做了定向優(yōu)化，從不銹鋼殼體架構(gòu)、低阻高效分離結(jié)構(gòu)到適配性細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)，每一處細(xì)節(jié)都貼合國(guó)內(nèi)高潔凈要求行業(yè)用戶的實(shí)際使用需求。

??? 全不銹鋼耐腐殼體，適配超大流量特殊工況

不少超大流量高潔凈工業(yè)生產(chǎn)場(chǎng)景中，壓縮空氣可能裹挾少量帶弱腐蝕性的介質(zhì)，普通鐵質(zhì)或鋁制殼體長(zhǎng)期接觸這類介質(zhì)，容易出現(xiàn)殼體銹蝕、介質(zhì)滲透等問(wèn)題，過(guò)重的殼體也會(huì)提升高空主管道安裝的施工難度。MSF2900D-SUS作為SUS系列大型超級(jí)油霧過(guò)濾器，采用不銹鋼容器作為標(biāo)準(zhǔn)配置，在保障耐腐性能的同時(shí)兼顧輕量化表現(xiàn)，適配0.05~0.98MPa的常規(guī)工業(yè)供氣壓力區(qū)間，長(zhǎng)期接觸5~60℃的帶微量油霧、弱腐蝕性介質(zhì)的壓縮空氣也不易出現(xiàn)銹蝕滲漏的情況，可適配多數(shù)對(duì)潔凈度、耐腐性有要求的超大流量工況長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)適配超大流量工業(yè)主管道布局，采用適配大管徑的法蘭接口，無(wú)需復(fù)雜輔助設(shè)備即可完成現(xiàn)場(chǎng)對(duì)接，降低場(chǎng)景下的安裝施工成本。

? 低阻高效分離結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定攔截精細(xì)油霧

超大流量高潔凈供氣場(chǎng)景中，過(guò)濾器的壓力損失會(huì)直接影響空壓集群的整體能耗表現(xiàn)，過(guò)高的壓損會(huì)帶來(lái)不必要的電力消耗，同時(shí)如果分離結(jié)構(gòu)的容油能力不足，會(huì)導(dǎo)致油霧隨氣流穿透，無(wú)法達(dá)到預(yù)期的除油效果。MSF2900D-SUS搭載經(jīng)過(guò)優(yōu)化的氣油分離結(jié)構(gòu)，采用日本產(chǎn)防水玻璃纖維濾紙作為濾材，在對(duì)應(yīng)工況下可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的油霧攔截效果，可有效濾除0.01μm以上的油霧顆粒，設(shè)備初期運(yùn)行壓力損失處于較低區(qū)間，長(zhǎng)期運(yùn)行可減少不必要的能耗損耗。配套的專用濾芯容油能力經(jīng)過(guò)針對(duì)性設(shè)計(jì)，在常規(guī)工況下可維持較長(zhǎng)的使用壽命，當(dāng)壓降達(dá)到對(duì)應(yīng)閾值時(shí)按需更換濾芯即可，減少頻繁更換耗材帶來(lái)的停機(jī)時(shí)間與運(yùn)維成本。

?? 適配性細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)，降低超大流量場(chǎng)景運(yùn)維負(fù)擔(dān)

MSF2900D-SUS的進(jìn)出接口采用適配超大流量工業(yè)主管道的標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接規(guī)格，可直接接入干燥機(jī)的前后主路管路，作為油霧預(yù)處理或后置精細(xì)除油單元使用，同系列相鄰過(guò)濾器之間可直接連接，無(wú)需額外接管，降低現(xiàn)場(chǎng)安裝的適配成本。設(shè)備可按需選配適配工況的自動(dòng)排水裝置，也可搭配對(duì)應(yīng)型號(hào)差壓計(jì)，運(yùn)維人員可直觀掌握濾芯的使用狀態(tài)，結(jié)合實(shí)際壓降情況安排更換計(jì)劃，避免濾芯飽和后油霧穿透影響后端用氣效果。同時(shí)設(shè)備安裝時(shí)可按規(guī)范為連接配管加裝支架，保障法蘭處負(fù)載處于安全區(qū)間，適配大型工業(yè)管道的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。

從半導(dǎo)體晶圓制造車間的氣源油霧防護(hù)，到生物制藥企業(yè)超大規(guī)模無(wú)菌用氣的油分預(yù)處理，MSF2900D-SUS好利旺SUS超級(jí)油霧過(guò)濾器，依托不銹鋼殼體的耐腐防護(hù)、低阻高效的油霧攔截表現(xiàn)，為對(duì)潔凈度有要求的超大流量供氣鏈路提供適配的油霧分離解決方案，幫助用戶減少油霧對(duì)后端用氣設(shè)備、工藝的影響，為供氣系統(tǒng)的長(zhǎng)期平穩(wěn)運(yùn)行提供配套支撐