晶圓清洗蒸汽發(fā)生器

晶圓清洗蒸汽發(fā)生器通過精密計(jì)量泵控制進(jìn)液量，經(jīng)相變汽化模塊將液分散成液膜再換熱轉(zhuǎn)化成水蒸氣，穩(wěn)定地將一路液體蒸發(fā)。自主研發(fā)的相變汽化模塊優(yōu)勢：蒸發(fā)混合穩(wěn)定并有非常寬的蒸發(fā)范圍。它的應(yīng)用范圍較廣泛，主要為實(shí)驗(yàn)室產(chǎn)生流量可調(diào)、溫度可控的水蒸氣，也可作為液體的相變發(fā)生器。

億科純水蒸氣發(fā)生器可支持客戶各種進(jìn)出口接口形式的定制；可支持遠(yuǎn)程控制；可支持實(shí)時(shí)在線數(shù)據(jù)的讀取與保存；設(shè)備體積小，輕便，只有傳統(tǒng)蒸氣發(fā)生器體積的十分之一；設(shè)備壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換。

技術(shù)優(yōu)勢：

• 采用特殊算法
  

精確控制汽化進(jìn)口的水流量和汽化過程中功率、液位、壓力、溫度等 最終達(dá)到對出口蒸汽的調(diào)節(jié)。精密控制精度，蒸發(fā)量大范圍精準(zhǔn)可調(diào)。

• 采用特殊汽化結(jié)構(gòu)
  

大幅抑制汽化不均勻而產(chǎn)生的脈動汽化過程穩(wěn)定，成份均勻

• 模塊化設(shè)計(jì)

結(jié)構(gòu)簡潔，接口和安裝形式均可按應(yīng)用快速定制，可集成，溫度/濕度/壓力可按需定制

• 高效且瞬間汽化

比傳統(tǒng)汽化效率更高 更快

產(chǎn)品特點(diǎn)：

快速啟動 數(shù)秒內(nèi)可以完成啟動

設(shè)備體積小，輕便，只有傳統(tǒng)蒸氣發(fā)生器體積的十分之一

精度確度高，可達(dá)±1%

出口溫度調(diào)節(jié)范圍廣，范圍從100至1000℃

汽化通道無死體積

換熱效率高，熱損失小

出氣穩(wěn)定，不冷凝

進(jìn)液流量 溫度等參數(shù)可設(shè)置

運(yùn)行狀態(tài)直觀顯示

可支持實(shí)時(shí)在線數(shù)據(jù)的讀取與保存

可集聯(lián)與遠(yuǎn)程

可按需求定制

設(shè)備壽命長，正常使用5年以上，過程中無任何易損耗材需更換