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產(chǎn)品：溫控表、調(diào)節(jié)器、記錄儀、接近開關(guān)、溫濕度轉(zhuǎn)換器、有毒氣體檢測儀、PLC（可編程）、觸摸屏、變頻器、伺服、軟啟動溫控系統(tǒng)、配電控制系統(tǒng)等產(chǎn)品。

品牌：日本島電（SHIMADEN）、日本神港（SHINKO）、日本島通（SHIMAX）、日本理化（RKC）、英國歐陸（EUROTHERM）、日本歐姆龍（OMRON）、希曼頓（XIMADEN）、美國馬拉松（MMI）等品牌產(chǎn)品。

我司所經(jīng)營產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：各類電器加熱爐、石油、冶金、煤礦、交通、水電行業(yè)、自動化生產(chǎn)線、印染機(jī)械、空調(diào)設(shè)備、玻璃機(jī)械、電子設(shè)備、噴涂、教學(xué)設(shè)備、電線電纜、節(jié)能設(shè)備、光伏、紡織及基礎(chǔ)設(shè)施等眾多行業(yè)

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產(chǎn)地	進(jìn)口	加工定制	否

MESA電源單元超穩(wěn)輸出性能多用爐備件
MESA電源單元是半導(dǎo)體制造工藝中配套刻蝕、沉積等核心工藝設(shè)備的專用供電模塊，主要應(yīng)用于等離子體處理設(shè)備的遠(yuǎn)程等離子體源（Remote Plasma Source, RPS）系統(tǒng)中，為等離子體激發(fā)提供穩(wěn)定可控的功率輸出。

MESA電源單元超穩(wěn)輸出性能多用爐備件產(chǎn)品詳情

MESA電源單元超穩(wěn)輸出性能多用爐備件

一、MESA電源單元概述

MESA電源單元是半導(dǎo)體制造工藝中配套刻蝕、沉積等核心工藝設(shè)備的專用供電模塊，主要應(yīng)用于等離子體處理設(shè)備的遠(yuǎn)程等離子體源（Remote Plasma Source, RPS）系統(tǒng)中，為等離子體激發(fā)提供穩(wěn)定可控的功率輸出。

MESA全稱通常對應(yīng)Microwave Energy Supply Assembly，即微波能源供給組件，也有部分廠商將其定義為Modular Energy Supply Assembly，即模塊化能源供給單元，核心功能是將工業(yè)電網(wǎng)的交流電轉(zhuǎn)換為符合等離子體激發(fā)要求的特定頻率、功率的微波電能，維持等離子體的穩(wěn)定放電。

在半導(dǎo)體先進(jìn)制程中，MESA電源單元的穩(wěn)定性、輸出jing度直接影響等離子體的均勻性，進(jìn)而決定晶圓刻蝕、沉積工藝的良率，因此MESA電源單元是半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中bu可或缺的核心配套部件。

當(dāng)前主流MESA電源單元多支持2.45GHz標(biāo)準(zhǔn)微波頻率，輸出功率覆蓋幾百瓦到數(shù)千瓦不等，可根據(jù)不同工藝需求靈活調(diào)整功率參數(shù)，同時具備wan善的故障監(jiān)測、保護(hù)功能，適配工業(yè)生產(chǎn)長時間連續(xù)運行的要求。

MESA電源單元超穩(wěn)輸出性能多用爐備件

二、MESA電源單元的主要性能參數(shù)

參數(shù)類別	典型參數(shù)范圍	參數(shù)說明
輸出頻率	2.45GHz（主流）、915MHz（少數(shù)場景）	對應(yīng)工業(yè)微波通用標(biāo)準(zhǔn)頻率，2.45GHz是半導(dǎo)體工藝的主流選擇
輸出功率范圍	500W~6000W	根據(jù)等離子體源容量設(shè)計，大腔室設(shè)備一般選用更高功率的電源單元
功率jing度	±1%~±3%FS	輸出功率相對于設(shè)定值的誤差，jing度越高等離子體穩(wěn)定性越好
功率穩(wěn)定度	≤±1% over 8 hours	長時間連續(xù)運行下輸出功率的波動范圍，先進(jìn)制程要求穩(wěn)定度更高
輸入電壓	200-240VAC、380-415VAC	適配不同地區(qū)工業(yè)電網(wǎng)標(biāo)準(zhǔn)，大功率機(jī)型一般選用三相380V輸入
轉(zhuǎn)換效率	≥85%~≥92%	輸出微波功率與輸入有功功率的比值，效率越高能耗越低
通信接口	RS-232、RS-485、EtherNet/IP、PROFINET	適配設(shè)備主機(jī)的通信協(xié)議，實現(xiàn)參數(shù)遠(yuǎn)程設(shè)置與狀態(tài)監(jiān)測
工作溫度范圍	10℃~35℃	要求設(shè)備機(jī)房環(huán)境溫度維持在此范圍，保證電源穩(wěn)定運行

除此之外，MESA電源單元還有一些關(guān)鍵性能要求，包括反射功率耐受能力、電磁兼容性、平均wu故障工作時間（MTBF）等。工業(yè)級MESA電源單元要求MTBF不低于50000小時，滿足半導(dǎo)體工廠全年連續(xù)生產(chǎn)的需求，電磁兼容性需要符合SEMIS20標(biāo)準(zhǔn)要求，避免對其他設(shè)備產(chǎn)生電磁干擾。

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

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