基礎核心參數

1. 測量原理：壓電傳感探頭拾取槽內超聲波振動，轉換為 mV 有效值相對電壓，反映聲場能量強弱；設備存儲量程檔位、零點補償、峰值聲壓完整時序數據，導出報表用于晶圓、光學零件超聲清洗工藝復盤。

2. 頻率響應范圍：10kHz～5MHz，覆蓋工業(yè)低頻清洗、38kHz/40kHz 通用清洗、1MHz/3MHz 兆聲晶圓清洗全場景

3. 測量量程（四檔手動切換）

   10mV、50mV、100mV、500mV

4. 響應速度：毫秒級瞬時采樣，流水線移動工件可捕捉短時峰值聲場

5. 主機硬件規(guī)格

• 外形尺寸：179×132×55mm（不含凸起）

• 整機重量：640g（內置鋰電池 HBT-001）

• 功耗：DC14.8V 1.5W，電池容量 1300mAh

• 續(xù)航：滿電連續(xù)使用約 10 小時

6. 供電配置

• 內置鋰電：HBT-001 專用鋰電池

• 充電適配器：BT-024 專用 DC 充電器，Type-C 充電接口

7. 可選配套探頭（線纜統(tǒng)一 1.5m）

• HUS-5 SPS：石英玻璃直型 340mm，適用常規(guī)中性清洗液，禁熱強堿

• HUS-5 SPL：石英玻璃 L 型 260mm，槽底、拐角定點檢測

• HUS-5 SUS：SUS316 不銹鋼直型，耐弱酸堿清洗液

• HUS-5 SUL：SUS316 不銹鋼 L 型，輥筒、夾層狹小空間

8. 探頭耐受液體溫度：0～70℃

9. 使用環(huán)境：環(huán)境溫度 5～40℃，濕度≤75% 無凝水，無塵車間、清洗產線工位

10. 使用限制：不可長期持續(xù)固定放置槽內（易故障）；僅做相對對比，不可用于法定計量校準

日本本多電子HONDA 便攜式超聲波音壓監(jiān)測儀

核心功能特點

1. 10kHz~5MHz 超寬頻兼容，單臺設備兼顧工業(yè)低頻清洗、半導體兆聲波高頻清洗，無需分設備采購，降低設備投入。

2. 雙材質可替換探頭，石英探頭適合中性精密清洗；不銹鋼探頭耐受弱酸堿蝕刻槽，適配 PCB、晶圓多道清洗工序。

3. 直型 / L 型自由切換，L 型彎頭可伸入槽底、輥道縫隙、密閉腔體，無需傾斜槽體即可完成多點聲場均勻度檢測。

4. 四檔 mV 量程分級切換，弱聲場小檔位精準讀數，強超聲槽大檔位防止表頭溢出，大小清洗機通用。

5. 內置零點歸零調節(jié)，消除探頭、線纜帶來基線偏移，同批次平行點位測量重復性優(yōu)異，便于長期跟蹤振子衰減。

6. 充電鋰電池便攜設計，車間多槽巡回、外勤設備驗收無需外接電源，整機輕量化單人手持攜帶。

7. 毫秒級高速響應，流水線高速輸送工件瞬時超聲能量也可精準捕捉，無讀數丟失、滯后問題。

8. 指針模擬表頭直觀觀測，類似傳統(tǒng)儀表操作習慣，新手快速上手，現場可直觀觀察聲場波動變化。

9. 分體長線靈活布置，探頭入水、主機放置槽外干燥區(qū)域，避免清洗液飛濺腐蝕主機電路，延長設備使用壽命。

10. 完整超聲清洗臺賬留存，峰值相對聲壓、探頭類型、檢測點位原始數據可回溯，半導體、光學產線設備出廠審廠可直接調取聲場管控記錄。

適用場景

1. 半導體晶圓行業(yè)：兆聲波晶圓清洗、芯片封裝前超聲脫脂槽聲場巡檢，判定振子老化避免清洗不良。

2. 光學器件工位：鏡頭、導光板、薄膜光學零件超聲脫脂，管控聲場均勻度防止劃痕、清洗殘留。

3. PCB 線路板領域：顯影、脫膜、中和超聲清洗槽強度點檢，穩(wěn)定板面潔凈度。

4. 五金精密加工：軸承、沖壓件、緊固件油污超聲清洗槽定期聲場排查。

5. 實驗室新材料：超聲樹脂分散、粉體脫泡試樣聲場對比測試。

6. 高校材料、半導體實訓實驗室，超聲清洗槽聲場強度對比教學配套測量設備。