50MW20層流元件

層流元件

Meriam層流元件 (LFE) 非常適合測(cè)量 0.2 SCCM 至 2250 SCFM 的低氣體流量。 它們具有固有的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性，并在我們通過(guò) ISO 17025 認(rèn)證的流量實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行校準(zhǔn)，可追溯至 NIST。流量變小為 20:1 或更小，產(chǎn)生的壓差與流量幾乎呈線性關(guān)系。這種組合使 LFE 成為氣體流量測(cè)量和流量控制應(yīng)用的。

性能

標(biāo)準(zhǔn) LFE 校準(zhǔn)精度為讀數(shù)的±0.72%（不是滿(mǎn)量程的百分比），可追溯至美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院 (NIST)。堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)和無(wú)任何活動(dòng)部件使 LFE 校準(zhǔn)穩(wěn)定。只有物理?yè)p壞或元件中的微粒沉積才會(huì)導(dǎo)致校準(zhǔn)偏移。

標(biāo)準(zhǔn)精度：讀數(shù)的± 0.72% 至± 0.86

重復(fù)性：0.1

響應(yīng)時(shí)間：16 毫秒

轉(zhuǎn)差：20:1 使用精確 DP 設(shè)備可實(shí)現(xiàn) 20:1 更大轉(zhuǎn)彎率使用精確 DP 設(shè)備可實(shí)現(xiàn)

實(shí)用性

LFE 可用于測(cè)量各種氣體和應(yīng)用的流量

各種氣體和應(yīng)用的流速。標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)可在標(biāo)準(zhǔn)條件下測(cè)量小至 0.2 SCCM（5.9 E-06 SCFM）、大至 2250 SCFM 的空氣流量。還可提供 15,000 SCFM 的定制型號(hào)。不銹鋼或鋁質(zhì)材料使 LFE 與大多數(shù)氣體兼容。在已知?dú)怏w成分百分比和混合物特性的情況下，還可以測(cè)量氣體混合物的流量。

LFE 矩陣

LFE 矩陣可由單獨(dú)的 SS 管或 SS 箔纏繞而成。相對(duì)于內(nèi)徑而言，這些管子足夠長(zhǎng)，可以在每個(gè)管子內(nèi)形成層流。因此，DP 與流速之間的關(guān)系接近線性。矩陣上產(chǎn)生的 DP 對(duì)流量變化的反應(yīng)非常迅速。所有 DP 都會(huì)對(duì)系統(tǒng)造成性壓力損失，但 LFE 的尺寸可在流量條件下產(chǎn)生不超過(guò) 8 英寸的水柱。單管直徑非常小，因此流動(dòng)氣體必須清潔干燥，以保持校準(zhǔn)。大多數(shù) LFE 型號(hào)都提供過(guò)濾式入口，以保持基質(zhì)清潔和校準(zhǔn)恒定。

校準(zhǔn)和精度

Meriam LFE 使用空氣進(jìn)行校準(zhǔn)，校準(zhǔn)條件為值 29.92" 汞柱 (760mm Hg. Abs.) 和 70oF (21.1oC)。每個(gè)完成校準(zhǔn)的元件都可溯源至美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院。我們的特殊校準(zhǔn)程序 #A-33544 設(shè)計(jì)用于滿(mǎn)足 MIL-STD-45662A、ANSI Z540、10CFR50 和 MIL-Q-9858A 的基本要求。

Meriam LFE 具有 SCFM 與英寸水壓差的可重現(xiàn)流量曲線。修正系數(shù)涵蓋 26 至 36" Hg Abs.的入口壓力范圍和 50oF 至 150oF 的入口溫度范圍。對(duì)于特殊流量應(yīng)用，請(qǐng)聯(lián)系 Meriam 并提供完整的流量信息。所有 Meriam LFE 的額定精度*均為實(shí)際讀數(shù)的百分比，而非其他設(shè)備更寬泛的滿(mǎn)量程流量容差百分比

*可提供的精確度等級(jí)：

†± 0.86% 讀數(shù)，滿(mǎn)刻度流量為 1000 SCFM 或更高

††± 0.70% 讀數(shù)，滿(mǎn)刻度流量為 1000 SCFM 或更高