高溫四探針電阻率測試儀
一.概述:
采用四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測試探針治具與PC軟件對數(shù)據(jù)的處理和測量控制,解決半導體材料的電導率對溫度變化測量要求,軟件實時繪制出溫度與電阻,電阻率,電導率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過程數(shù)據(jù)值的報表分析.
二.適用行業(yè)::
用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數(shù)據(jù).
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設(shè)計參照單晶硅物理測試方法并參考美國 A.S.T.M 標準。
三.型號及參數(shù):

標準:GB 1550 硅單晶導電類型測定方法
GB/T 1552 硅、鍺單晶電阻率測定 直排四探針法
GB 5256 鍺單晶導電類型測量方法



































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