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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

江蘇海思半導(dǎo)體科技有限公司是專業(yè)從事步進(jìn)式投影光刻機(jī)、全自動(dòng)光刻機(jī) (Mask Aligner) 研發(fā)、制造與銷售，海思半導(dǎo)體掩模對(duì)準(zhǔn)可容納 300 mm 產(chǎn)品，兼容不容形狀和厚度的晶圓和基片，應(yīng)用于MEMS，集成電路、混合模塊、化合物半導(dǎo)體、光電模塊、3D封裝，光學(xué)器件、功率器件，微納米加工等各個(gè)領(lǐng)域。

目前已與國(guó)際多家半導(dǎo)體制造企業(yè)、研究所建立了合作關(guān)系，我們擁有在半導(dǎo)體設(shè)備制造和光刻領(lǐng)域等經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)團(tuán)隊(duì)，海思半導(dǎo)體秉承為客戶提供優(yōu)良的技術(shù)方案，且不斷優(yōu)化業(yè)務(wù)結(jié)構(gòu)和提升服務(wù)品質(zhì)，持續(xù)為客戶提供高品質(zhì)服務(wù)。

2023年6月江蘇海思半導(dǎo)體科技有限公司成功推出步進(jìn)式光刻機(jī)并成功投入市場(chǎng)，并同步開(kāi)發(fā)350nm分辨率步進(jìn)式光刻機(jī)。

2024年正式推出350nm以及500nm分辨率步進(jìn)式光刻機(jī)。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	加工定制	是	適用領(lǐng)域	科研
適配品圓尺寸	8" (200mm)6" (150mm)	晶圓厚度范圍	0.3mm-1.5mm	掩膜版尺寸	9"X9"/7"X7" (SEMI)
曝光光源	UV-LED365nm,可選405nm、435nm混合波長(zhǎng)	壓縮空氣	0.5~0.7MPa,潔凈干燥,流量≥0.5m2/min	設(shè)備尺寸	1674mm (長(zhǎng))X 1324mm (寬)x2197mm (高)

本款全自動(dòng)8寸雙面對(duì)準(zhǔn)光刻機(jī)，專為200mm硅基、化合物半導(dǎo)體晶圓雙面光刻工藝量身打造，是集全自動(dòng)上下料、頂部和底部獨(dú)立雙CCD視覺(jué)對(duì)準(zhǔn)、UV-LED勻光曝光、精密抗震大理石平臺(tái)于一體化量產(chǎn)產(chǎn)設(shè)備。設(shè)備可一次性完成晶圓正面圖形曝光、背面基準(zhǔn)自動(dòng)套刻，打通雙面器件全生產(chǎn)流程，企業(yè)中小批量及大批量量產(chǎn)場(chǎng)景,同時(shí)適配高?？蒲醒邪l(fā)、。

HS-6200 產(chǎn)品詳情

參數(shù)項(xiàng)目技術(shù)指標(biāo)

掩模版、硅片

適配晶圓尺寸8"(200mm)6"(150mm)

晶圓厚度范圍0.3mm-1.5mm

掩膜版尺寸9"X9"/ 7"X7" (SEMI)

曝光系統(tǒng)

曝光方式硬接觸、軟接觸、接近式、真空式

曝光光源UV-LED 365nm,可選405nm、435nm混合波長(zhǎng)

曝光面積210mmX210mm

照度均勻性≤3%

曝光分辨率≤1μm

光源壽命≥10000H

對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

正面對(duì)準(zhǔn)≤±1μm

選配背面對(duì)準(zhǔn)≤±2μm

正面鏡頭移動(dòng)范圍40mm-200mm

背面鏡頭移動(dòng)范圍100mm-180mm

用戶界面Windows10

電氣與環(huán)境要求

供電電源AC 220V±10%,50/60Hz,單相三線,3.5kVA

壓縮空氣0.5~0.7MPa,潔凈干燥,流量≥0.5m3/min

真空系統(tǒng)≤-95kPa

工作環(huán)境溫度 22±1℃,相對(duì)濕度45%~65%,潔凈度Class 100

設(shè)備尺寸1674mm(長(zhǎng))x 1324mm(寬)X2197mm(高)

設(shè)備重量1200kg

參數(shù)項(xiàng)目技術(shù)指標(biāo)

掩模版、硅片

適配晶圓尺寸8"(200mm)6"(150mm)

晶圓厚度范圍0.3mm-1.5mm

掩膜版尺寸9"x9" /7"x7" (SEMI)

曝光系統(tǒng)

曝光方式硬接觸、軟接觸、接近式、真空式

曝光光源UV-LED365nm，可選405nm、435nm混合波長(zhǎng)

曝光面積210mmX210mm

照度均勻性≤ 3%

曝光分辨率≤1μm

光源壽命≥10000H

對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

正面對(duì)準(zhǔn)≤±1μm

選配背面對(duì)準(zhǔn)≤±2μm

正面鏡頭移動(dòng)范圍40mm-200mm

背面鏡頭移動(dòng)范圍100mm-180mm

用戶界面Windows10

電氣與環(huán)境要求

供電電源AC220V+10%，50/60Hz，單相三線，3.5kVA

壓縮空氣0.5~0.7MPa，潔凈干燥，流量≥0.5m/min

真空系統(tǒng)≤-95kPa

工作環(huán)境溫度22±1℃，相對(duì)濕度45%~65%，潔凈度Class 100

設(shè)備尺寸1674mm(長(zhǎng))x1324mm(寬)x2197mm(高)

設(shè)備重量1200kg

熱門(mén)產(chǎn)品

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