一、概述

杜威DFC系列質量流量控制器/流量計由質量流量傳感器、層流原件、質量流量控制器調節(jié)閥和放大電路組成。用以準確可靠的測量和控制氣體質量流量，測量和控制精度高、零飄小，測量和控制范圍寬，測量和控制的準確度不受環(huán)境溫度和外界壓力的影響。

二、應用場景

廣泛應用于電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等場合，以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

三、工作原理

流量控制器利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成，即熱分布式流量計（Thermal Profile Flowmeter）。采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大，然后與設定的電壓進行比較，用所得的差值信號去驅動控制調節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器在主通道和毛細管間產(chǎn)生層流，控制輸出的流量檢測電壓與流過通道的流量成比例。

工作原理圖

四、產(chǎn)品特點

 耐壓高及適用于真空條件下工作，低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

 主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

 可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

 具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

五、主要技術參數(shù)

 供電電源：24VDC

 測量范圍：0～5～500ml/min，0～1～500L/min

 測量精度：±1.0%FS

 線性：±0.5%FS

 重復精度：±0.2%FS

 工作壓差：0.1～0.5MPa

 工作環(huán)境溫度：-10～120℃

 輸出信號：4~20mA、0~10V、RS485(ModBus)

 供電：DC15V～DC24V可選，流量計<400mA，控制器<600mA

 電氣連接：DB15

 底座材質：316L不銹鋼

 密封材質：氟橡膠、丁晴橡膠、氯丁橡膠

 氣體接頭：Φ3、Φ6、Φ10、1/8〞、1/4〞、3/8〞

六、外形尺寸

外形及安裝尺寸

氣路接頭形式

電纜連接插頭  

七、功能操作

1. 不帶液晶顯示屏操作

    1) 開機前的準備工作

用我公司提供的電纜線將質量流量計和流量顯示儀連接。

選擇設定信號的來源。信號的來源可選擇內部和外部，選擇設定信號來源的接口設在流量顯示儀的后面板上。如果將設定端子與內設相連時，從流量顯示儀上獲得設定信號。如果從其他設備上得到設定信號，則需要將信號源與設定相連接。

2) 開機操作

接通電源后，先預熱1分鐘，再通氣工作，以保證測量的準確度。

如：通電時，將閥控開關置于“關閉”位置并將設定電位器調到零，待零點穩(wěn)定后，將閥控開關轉到“閥控”位，然后再將設定流量調到您需要的值，實際流量將跟蹤設定值而改變。

3) 清洗與關閉功能

將閥控開關置為“清洗”位，閥將打開到，如果氣路上下游存在工作壓差，將會有很大的氣流通過，此功能可用于吹洗管路，或用于排除MFC 內部及其管路殘存的其他氣體。清洗時的氣流量可達該控制器額定滿量程流量的幾倍至幾十倍。清洗后，應打閥“關閉”，然后才能進行正常“閥控”操作；不得直接轉置“閥控”位，因為此操作不能保證閥控正常動作。將閥控開關置為“關閉”位，閥將關死，而沒有氣流通過。

4) 外部控制和與計算機D/A轉換器連接

若流量設定使用外部信號，應將設定選擇開關打至“外”，并從顯示儀上的外控信號插座接入（0～5V）或（4～20mA） 和“0 電平”（信號地）上即可。也可直接與計算機的D/A 轉換器連接，實現(xiàn)自動控制。注意，流量設定的輸入阻抗大于10KΩ。

5) 流量檢測和與計算機A/D轉換器的連接

若用戶檢測流量輸出信號（0～5V）或（4～20mA）時，將線引至外控信號插座的“流量檢測”和“0電平”線上即可，也可直接與計算機的模數(shù)轉換器連接，5V或20mA輸出電壓對應MFC 滿量程額定流量值。

注意，流量檢測輸出電流負載能力不得大于3mA。

6) 閥控功能

當閥開關置于“閥控”位時，此時可通過“設定信號”正?？刂茪怏w質量流量。

7) 關機操作

關機斷電源后，氣流自動截止。

推薦先關氣，后斷電源。

2. 帶液晶顯示屏操作

流量計使用一個帶背光的點陣液晶顯示器，直觀清晰的顯示出多種有用的流量數(shù)據(jù)，包括：瞬時流量、累計流量和溫度等。DMASS具有不同的顯示畫面，它取決于定貨的型號，如流量計或控制器、電流輸出或電壓輸出等。具有統(tǒng)一的主顯示畫面、氣體選擇畫面（特定氣體時本畫面可能無效）、校準畫面、設備信息等。

在主畫面狀態(tài)下，輕按流量計右下角的[MENU]按鍵可以切換顯示畫面到菜單畫面。

3. 常用操作

界面說明

   按鍵在不同顯示情景下的功能

   監(jiān)測量顯示狀態(tài)

   按【左】鍵，順序切換當前顯示參數(shù)為：瞬時流量、電流、介質溫度、累計流量

   按【右】鍵，倒序切換當前顯示參數(shù)為：累計流量、介質溫度、電流、瞬時流量

   按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   菜單顯示狀態(tài)

   按【右】鍵，順序切換本級菜單各菜單項

   按【左】鍵，退至上一級菜單

   按【MENU/OK】鍵，進入下一級菜單或者〖參數(shù)輸入對話框〗

   參數(shù)輸入對話框

   按【上】鍵，設定數(shù)字增加1

   按【下】鍵，設定數(shù)字減小1

   按【右】鍵，光標右移一位

   按【左】鍵，光標左移一位

   按【MENU/OK】鍵，確認

   存儲問詢對話框

   按【右】鍵，不存儲數(shù)據(jù)或選項，回到〖存儲問詢對話框〗前的菜單項。

   按【左】鍵，存儲數(shù)據(jù)或選項，回到〖存儲問詢對話框〗前的菜單項。

   4. 功能操作詳解

   1) 流量設置

    按【VALVE】 鍵進入流量設定界面

    按【上】鍵增大流量設置，按【下】鍵減小流量設置，按【左】鍵流量設定為0，按【右】鍵流量設定為滿量程。按【VALVE】鍵保存并返回監(jiān)測量顯示狀態(tài)。

    2) 啟動/停止流量累計

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入用流量設置子菜單

   若累計功能處于停止狀態(tài)，顯示如下畫面

   此時按【MENU/OK】鍵會進入〖存儲問詢對話框〗 如下

   此時按【左】鍵修改并存儲，按【右】鍵則退出到之前菜單

3) 流量累計值清零：

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   按【MENU/OK】，進入流量設置子菜單，按【右】使菜單項“1 Reset Total”處于焦點狀態(tài)

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖存儲問詢對話框〗；

   按【左】鍵修改并存儲，按【右】鍵則退出到之前菜單。

4) 流量小信號切除

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   按【MENU/OK】，進入流量設置子菜單，按【右】使菜單項“2 Flow CutOff”處于焦點狀態(tài)

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖參數(shù)輸入對話框〗，輸入所需數(shù)據(jù)

   修改完位字符，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   此時，按【左】鍵，存儲數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲，回到之前的菜單

5) 流量系數(shù)

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗；

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入流量設置子菜單，按【左】鍵使“3 Coefficient”處于焦點狀態(tài)

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖參數(shù)輸入對話框〗，輸入所需數(shù)據(jù)

   修改完位字符后，按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖存儲問詢對話框〗

   此時，按【左】鍵，存儲數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲，回到之前的菜單

6) 流量零點設置

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗；

   按【右】鍵，使菜單項“2 Zero Offset”處于焦點狀態(tài)；

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入安裝位置零點設置子菜單；使菜單項“1 Set Zero”處于焦點狀態(tài)；按【MENU/OK】鍵，進行（5）操作，為設定流量零點操作；

   按【右】鍵，使菜單項“2 Clear Zero”處于焦點狀態(tài)；為取消流量設定零點操作；

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖存儲問詢對話框〗；

   此時，按【左】鍵，存儲零點值，按【右】鍵，放棄存儲，回到之前的菜單。

7) 設備輪詢地址設置

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗；

   按【右】鍵使菜單項“6 Hart Address”處于焦點狀態(tài)；

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入Hart地址設置子菜單，第3行顯示為當前輪詢地址；

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖參數(shù)輸入對話框〗， 輸入期望值（地址范圍0～31）

   修改完位字符后，按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖存儲問詢對話框〗

   此時，按【左】鍵，存儲數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲，回到之前的菜單

8) 環(huán)路輸出測試

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   按【右】鍵,使菜單項“7 Loop Test”處于焦點狀態(tài)

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入回路測試子菜單

   注意：這時儀表輸出電流被鎖定為4mA

   按【右】鍵，滾動菜單項，可以使儀表輸出電流鎖定為相應值；（例如，鎖定為16，如下圖）

   在回路測試菜單下，按【左】鍵，則退出回路測試，回到之前的菜單，且儀表電流回歸自動

9) 控制模式轉換

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入流量設置子菜單，按【右】鍵使“4  Caculate Mode”處于焦點狀態(tài)

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入運算方式選擇子菜單

   按【右】鍵，滾動被選項，當選擇“Analog Input”時，為外接模擬信號控制模式；當選擇“Local/RS485”時，為就地按鍵操作控制或RS485通訊控制

   此時，按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖存儲問詢對話框〗

   按【左】鍵，存儲數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲，回到之前的菜單，如果存儲，且被選擇項之前的方框被圓點填充

10) 設置輸出阻尼值

   在〖監(jiān)測量顯示狀態(tài)〗下，按【MENU/OK】鍵，進入〖菜單顯示狀態(tài)〗

   按【右】鍵使菜單項“8 Set Damping”處于焦點狀態(tài)

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入阻尼設置子菜單，第3行顯示為當前阻尼值

   按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖參數(shù)輸入對話框〗，輸入期望值（0～254）

   修改完位字符后，按【MENU/OK】鍵，顯示進入〖存儲問詢對話框〗

   此時，按【左】鍵，存儲數(shù)據(jù)，按【右】鍵，放棄存儲，回到之前的菜單

   八、注意事項

   1. 加裝過濾器

使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。

2. 使用腐蝕性氣體

流量計通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應在定貨時聲明。 使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

3. 安裝位置

本控制器安裝時保持安裝面水平，但對位置并不特別敏感， 可以任意位置安裝，非水平位置安裝時若發(fā)現(xiàn)零點偏移，可以調整零點后在工作。

4. 閥口密封

質量流量控制器的電磁閥是調節(jié)閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶應另配截止閥。特別是用戶使用腐蝕性氣體，通常應該在質量流量控制器進出氣口各加一個截止閥，以保證工作安全。長期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在2%F.S以內, 是屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%, 則應進行維修。

5. 標定與不同氣體的換算

本流量質量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定。如果要求用使用氣體標定，需要在訂貨時與銷售人員特別聲明。

用氮氣標定的流量控制器用戶使用其它氣體時，可以通過轉換系數(shù)表進行換算。  

九、一般異常情況判斷和處理

 十、售后與服務

   1. 產(chǎn)品保證與保修

本公司生產(chǎn)的DFC系列氣體質量流量計在出貨兩年以內，如果用戶按照說明書要求使用，并且產(chǎn)品沒有遭受物理損害、污染、改裝或翻新，我們保證產(chǎn)品的材料、加工和性能的質量，若有問題，免費維修。

用戶收到貨物后，有責任檢查及核對貨物，并通過傳真、電話或電子郵件的方式及時通知本公司銷售部有關收貨情況。

保修期內，產(chǎn)品必須由本公司或的服務中心修理，否則，產(chǎn)品的保修是無效的。

在一年保修期以內，維修免費，如果過保，在維修前將會通知用戶需要更換的部件及維修費用。維修后，在90天以內對修理的部分進行保修，保修件包括易損件 (四氟或密封圈等)。

用戶使用過有毒、有污染或腐蝕性氣體的產(chǎn)品, 如果沒有出示清除污染及凈化處理的證明，本公司將不負責修理或保修。

2. 保修對使用的要求

氣體必須潔凈且沒有顆粒物, 沒有液體, 這就要求在DFC系列氣體質量流量計的上游氣路中安裝<30μm的過濾器。

輸入的氣體壓力必須符合產(chǎn)品的耐壓標準，不能超過該產(chǎn)品要求的壓力。

產(chǎn)品的使用氣體必須與用戶訂貨選擇的密封材料相適應,用戶有責任按照可用的安全規(guī)章使用每種氣體。不正確的使用產(chǎn)品會使保修無效，由于不正確的使用所導致的損害不能歸咎于本公司。

對電子線路的要求：必須小心按規(guī)定連接系統(tǒng)的接線, 不正確的接線會導致產(chǎn)品內部電路板的損壞。DFC系列氣體質量流量計電源需要電壓波動小于5mV的高抗干擾穩(wěn)壓電源。

氣路的連接：必須仔細的安裝密封管件, 保證所有的密封管件經(jīng)過單獨檢查并且沒有劃痕。

禁止自行拆開DFC系列氣體質量流量計。如果自行拆卸造成損壞，則本公司承諾的保修無效。

3. 服務

本公司的產(chǎn)品工程師將會幫助您解決關于操作、標定、機電連接、工作條件要求、氣體轉換等方面的問題，我們提供技術支持與維護，提供產(chǎn)品使用培訓。

    售后服務

   地址：合肥市高新區(qū)習友路與石蓮南路交口 中國聲谷4號樓九層

   電話：

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• 杜威DFC氣體質量流量計使用說明書.pdf