產(chǎn)品概述

塞維歐SEIVIO Vaculub P192 位移平臺真空潤滑脂采用蒸汽壓較低的直線分子結(jié)構(gòu)的全氟聚醚油，PTFE稠化，并添加特種抗腐蝕添加劑精制而成的。是專為真空環(huán)境（高 / 超高真空，10?3~10?1?Pa） 下的精密線性位移平臺、微動平臺、導(dǎo)軌 / 絲杠 / 軸承設(shè)計的低揮發(fā)、低放氣、低摩擦、高精度特種潤滑脂，核心是在真空下不大量揮發(fā)、不污染光學(xué) / 電子 / 半導(dǎo)體部件，同時保證納米 / 亞微米級定位精度、低爬行、長壽命。

產(chǎn)品特性

+ 很低蒸發(fā)損失，采用低飽和蒸氣壓的基油，確保在真空下不揮發(fā)；

+ 優(yōu)異的抗磨性，滿足位移平臺高頻率、微米級甚至納米級定位的潤滑，減少機械滯后；

+ 高清潔度，不含容易脫落的雜質(zhì)，符合無塵室（Cleanroom）等級標(biāo)準(zhǔn)；

+ 化學(xué)惰性 不與真空室內(nèi)的制程氣體發(fā)生反應(yīng)，耐腐蝕；

+ 寬溫性能 許多真空環(huán)境伴隨高溫烘烤或低溫工作，潤滑脂需保持黏度穩(wěn)定。

應(yīng)用領(lǐng)域

適用于SEM/TEM 載物臺： 電子顯微鏡下的樣本移動。

晶圓對準(zhǔn)系統(tǒng)： 半導(dǎo)體光刻機或檢測設(shè)備中的多軸位移臺。

空間驅(qū)動機構(gòu)： 衛(wèi)星或空間站上的展開與指向機構(gòu)。

包裝規(guī)格

20kg/桶裝 訂貨號 392155

儲存運輸

應(yīng)在常溫、陰涼、避光處保存，禁止在陽光下直曬，以免油脂分離及分解。在原包裝中保質(zhì)期可達(dá)36個月。

使用建議

薄涂原則： 只需要在表面形成一層連續(xù)的薄膜即可。過量的油脂可能會被吸入真空泵造成污染，或流進反應(yīng)瓶影響實驗結(jié)果。

清潔： 在更換或重新涂抹前，必須用異丙基醇、己烷或?qū)Ｓ们逑磩⑴f的殘余油脂及吸附的灰塵清除。

關(guān)于塞維歐®SEIVIO

作為比瑟奴潤滑科技®在中國的子品牌，塞維歐致力于為客戶提供高品質(zhì)的位移平臺真空潤滑脂應(yīng)用解決方案、專業(yè)的技術(shù)支持與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。聯(lián)系我們，了解更多產(chǎn)品信息！