XS-FX80-HMDS 光刻膠增粘劑HMDS氣體檢漏儀

一、產(chǎn)品作用

     在晶圓鍍膜工藝中，HMDS氣體檢漏儀是保障生產(chǎn)安全與產(chǎn)品質量的關鍵設備，該氣體用于增強光刻膠與晶圓表面的粘附力。若HMDS在工藝過程中發(fā)生泄漏，會導致濃度異常，直接影響疏水薄膜的形成質量，造成光刻膠脫膠、圖形轉移失敗等缺陷，從而降低產(chǎn)品良率。檢漏儀能實時監(jiān)測濃度，確保工藝穩(wěn)定。

      同時HMDS蒸氣易燃、有毒。檢漏儀能全天候監(jiān)控泄漏，防止因蒸氣積聚引發(fā)爆炸或人員中毒，是企業(yè)滿足安全合規(guī)要求的必要安防裝備。

二、產(chǎn)品特點

★ 主體和探頭部分均采用可插拔智能探頭設計，售后維護更方便
★2.4英寸工業(yè)級高清彩屏，顯示內容更全面
★外置大功率無線LORA模組，傳輸距離更遠
★紅外遙控器，可以實現(xiàn)在危險場合免開蓋操作
★低報、高報、故障三組開關量輸出
★外置高分貝防爆型聲光報警燈
★智能一鍵消音，方便快捷

三、產(chǎn)品參數(shù)
被測氣體：六甲基二硅氮烷（HMDS）
檢測原理：PID光離子
采樣方式：擴散式或管道式
顯      示：2.4英寸TFT液晶顯示屏
量      程：0-20/200 /2000ppm 或其它量程
分  辨 率：0.001/0.01ppm
重  復 性：≤±2%
線性誤差：≤±1%
精      度：≤± 2 % F.S.
氣壓范圍：860～1060hpa
功      耗：＜5.0W
工作/溫濕度： -20℃～60℃，0～95%RH（無凝結）
繼  電 器：低報/高報/故障三組開關量輸出（選配）
線性誤差：≤±1%
供電電源：12～36VDC
信號輸出：RS485 和4～20mA （三線制），支持選配LORA、ZIGBEE、NB-IoT、4G、GPRS等
連接螺紋：M20*1.5內螺紋，可選 G3/4、G1/2、1/2NPT、3/4NPT
防爆等級：Ex db IIC T6 Gb  
防      護：IP66
主體材料：ADC12鋁合金  約1.2kg（304/316不銹鋼選配）
執(zhí)行標準：GB/T 50493-2019 石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設計標準 

四、工作原理
       光刻膠增粘劑HMDS氣體檢漏儀是一種用于檢測氣體濃度的儀器，其工作原理主要是通過將氣體傳感器采集的物理或者化學非電信號轉化為電信號，再通過外部電路對電信號進行采集及處理。當檢測到氣體濃度超過報警設定值時能自動啟動外部設備（如排風機、電磁閥、聲光報警器等）,以及實現(xiàn)遠程聯(lián)網(wǎng)實現(xiàn)集中顯示氣體濃度等功能。根據(jù)檢測氣體種類的不同，檢測技術原理也不同。主要有電化學、催化燃燒、紫外電離、紅外、熱導、半導體、激光等原理。