供電電源
本體供電:DC24V, 400mAAzbil Nort...
原廠適配器:81446957?001(100?240VAC 輸入,輸出 24VDC/750mA)Azbil Corp...
2、信號(hào)電纜(20 芯,Hirose HIF3BA?20PA?2.54DS 接口)
| 部件型號(hào) | 說明 |
|---|---|
| 81446681?001 | 2 米 20 芯扁平電纜,不帶屏蔽Azbil Nort... |
| 81446951?001 | 5 米 20 芯屏蔽電纜,抗干擾(推薦工控現(xiàn)場(chǎng))Azbil Nort... |
設(shè)備端連接器:HIF3BA?20PA?2.54DS;配套插頭:HIF3BA?20D?2.54C,壓接端子 HIF3?2226SCC(AWG22?26)
3、顯示操作面板
配套面板:F4H90506VN30N(外置數(shù)字顯示單元,直接插 MFC,本地設(shè)置流量、查看 PV/SP、報(bào)警)
4、PC 調(diào)試工具
MLP100A100:專用調(diào)試 Loader,電腦連接 MFC,參數(shù)讀寫、校準(zhǔn)、氣體切換、日志讀取Azbil Corp...
5、氣路配套
接口:本體為 1/4 Rc 內(nèi)螺紋(管螺紋),配 1/4 卡套接頭、SUS316 管路;
前端建議配置:過濾器、調(diào)壓閥;進(jìn)氣壓力≤0.5MPa (G),壓差建議 200kPa 左右Azbil Nort...。
6、通訊
MQV0020BSRN000000 支持模擬量(0?5V /4?20mA);如需 RS485 通訊,需選型帶通訊后綴版本,本型號(hào)無 RS485 硬件。
7、關(guān)鍵基礎(chǔ)參數(shù)速覽
型號(hào):MQV0020BSRN000000,滿量程:20L/min(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài))Azbil Nort...
閥體內(nèi)置,不需要外接閥門;
適用:半導(dǎo)體、CVD、鍍膜、配氣系統(tǒng)。
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