Smartproof 5 快速轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡

ZEISS蔡司的多功能 Smartproof 5 快速轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦顯微鏡是用于表面分析的集成系統(tǒng)：快速，準(zhǔn)確，可重復(fù)?？捎糜诟鞣N工業(yè)應(yīng)用質(zhì)量保證和質(zhì)量控制部門(mén)，生產(chǎn)部門(mén)及 R&D 實(shí)驗(yàn)室日常分析中需要解決的問(wèn)題。

這套高質(zhì)量的共聚焦系統(tǒng)使用蔡司 ZEN 圖像分析軟件，為您帶來(lái)更大的用戶(hù)舒適度和提高生產(chǎn)力的附加利益。

應(yīng)用領(lǐng)域

汽車(chē)與航空航天：軸承、密封件、活塞、氣缸、噴油嘴、注塑或增材制造部件的粗糙度測(cè)量

材料研究/工程 材料（例如纖維、石頭、光子結(jié)構(gòu)）：表面特性檢測(cè)、電化學(xué)蝕刻后的深度測(cè)量、耐腐蝕研究、注塑工藝特性檢測(cè)

金屬與鋼材：拋光和機(jī)械加工金屬表面、刀具的粗糙度測(cè)量和耐腐蝕研究

電子器件：印刷電路板、集成電路封裝、冷凝器、太陽(yáng)能電池板、LED、顯示器、玻璃上的

3D 表面形貌或粗糙度測(cè)量：醫(yī)療行業(yè) 和功能性表面的非接觸面粗糙度特性檢測(cè)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

可信的數(shù)據(jù)輸出

1) 由于寬場(chǎng)相關(guān)孔徑共聚焦技術(shù)，Smartproof 5能夠有效地減少獲取分析結(jié)果的時(shí)間，從而能夠保證高分辨率的同時(shí)也能夠?qū)崿F(xiàn)快速成像。

2) 蔡司優(yōu)異的光學(xué)系統(tǒng)和可靠部件讓用戶(hù)有效率地進(jìn)行各種應(yīng)用。

3) 搭配ConfoMap軟件——蔡司版本的Mountains-Map——測(cè)量軟件中的黃金標(biāo)準(zhǔn)。

4) 您可以根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)來(lái)分析您的數(shù)據(jù)并獲取相關(guān)分析報(bào)告。

引導(dǎo)式工作流程

1) 由于其簡(jiǎn)易的操作系統(tǒng)和工作流程，Smartproof 5尤其適合研究生產(chǎn)和過(guò)程控制。

2) 易學(xué)的檢查流程和面向工作流程的圖像用戶(hù)界面（GUI）指導(dǎo)用戶(hù)進(jìn)行重復(fù)性任務(wù)。

3) 在結(jié)果準(zhǔn)確、可追溯的基礎(chǔ)下，確保用戶(hù)能夠獨(dú)立完成數(shù)據(jù)獲取。

高集成度和穩(wěn)固設(shè)計(jì)

1） 得益于高度集成系統(tǒng)：光學(xué)元件，電子部件以及照相機(jī)都封裝在顯微鏡中。

2） Smartproof 5 的實(shí)用穩(wěn)固結(jié)構(gòu)讓其有效地防止振動(dòng)。

優(yōu)異的蔡司光學(xué)

1） 新的蔡司物鏡系列 C Epiplan-Apochromat 是專(zhuān)門(mén)為了快速轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦系統(tǒng)特別設(shè)計(jì)的。這些高數(shù)值孔徑物鏡不但能在可見(jiàn)光范圍下?lián)碛懈玫男阅埽?05納米（獲取共聚焦圖像所使用的波長(zhǎng)）下也同樣如此。

2） 相比傳統(tǒng)的點(diǎn)掃描共聚焦顯微鏡，使用快速轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦技術(shù)的 Smartproof 5 擁有更加優(yōu)異的性能。通過(guò)集成在 Smartproof 5 探測(cè)器模塊里面的相關(guān)聯(lián)的光闌轉(zhuǎn)盤(pán)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)的 Smartproof 5 優(yōu)異的性能，同時(shí)還保持了共聚焦顯微鏡表面表征的典型特點(diǎn)。您能夠得益于它杰出的高度解析能力和超高的橫向分辨率。

用于準(zhǔn)確導(dǎo)航的引導(dǎo)式工作流程

由于其集成的ZEN圖形用戶(hù)界面支持從宏觀到微觀分析的無(wú)縫切換工作流程，Smartproof 5 的定位簡(jiǎn)單而準(zhǔn)確。通過(guò)概覽圖像就能夠容易地定義要測(cè)量的位置。獲取的數(shù)據(jù)會(huì)被自動(dòng)傳輸?shù)?Confomap 軟件，讓您對(duì)樣品的三維屬性進(jìn)行處理和分析。工作流程能夠保存以便再次執(zhí)行同樣的微觀三維分析。

值得信賴(lài)的數(shù)據(jù)輸出

自動(dòng)化的 Smartproof 5 部件讓軟件能夠監(jiān)控每個(gè)部件的狀態(tài)。因此用于重復(fù)性分析的工作流程很容易創(chuàng)建。通過(guò)功能的 ConfoMap 軟件，您可以分析樣品的幾何參數(shù)，或依據(jù) ISO 標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行 2D （輪廓）和 3D （面積）粗糙度分析。

系統(tǒng)概覽及靈活多樣的組件選擇

顯微鏡主體：

1） 掃描頭，包括 Z 軸精細(xì)調(diào)焦驅(qū)動(dòng)以及 4 百萬(wàn)像素相機(jī)

2） 主機(jī)架，包括 Z 軸粗調(diào)焦驅(qū)動(dòng)

3） 6 位物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)

物鏡：

1） EC Epiplan-Neofluar 2.5×/0.06（標(biāo)配）

2） C Epiplan-Apochromat 5×/0.2

3） C Epiplan-Apochromat 10×/0.4

4） C Epiplan-Apochromat 20×/0.7

5） C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 靈活多樣的組件選擇

6） LD C Epiplan-Apochromat 50×/0.6 （長(zhǎng)工作距離）

7） LD C Epiplan-Neofluar 100×/0.75 （長(zhǎng)工作距離）

計(jì)算機(jī)系統(tǒng)

1） 電腦系統(tǒng)自帶 Smartproof ZEN 軟件

2） 顯示器

3） 可控制 XYZ 軸的 3D 鼠標(biāo)

軟件

1） ZEN core，用于數(shù)據(jù)采集和成像

2） ConfoMap，用于數(shù)據(jù)分析

3） ZEN Shuttle & Find，用于關(guān)聯(lián)顯微鏡

4） ZEN Data Storage，用于集中式數(shù)據(jù) 管理

5） ZEN Intellesis，用于高級(jí)圖像分割

6） ZEN Connect，用于不同成像方式的 數(shù)據(jù)可視化和分析

7） NEO pixel，用于 2D 自動(dòng)化測(cè)量

技術(shù)參數(shù)

應(yīng)用案例

機(jī)械加工金屬表面：（左圖）由 20x/0.7 物鏡拍攝的四張真彩表面紋理疊加 3D 彩色編碼高度圖的拼接圖片；（右圖）以垂直于機(jī)械加工方向獲取的粗糙度剖面圖，顯示了表面輪廓。

花齒螺釘：（左圖）3D 彩色編碼高度圖；（右圖）沿左圖所示方向獲取的剖面圖，用等高線測(cè)量角度和高度差。

電子設(shè)備：（左圖）疊加真彩紋理的三維視圖；（中圖）用 10×/0.4 物鏡創(chuàng)建的高度圖；（右圖）用于測(cè)量區(qū)域粗糙度或紋理的二維高度圖，例如用于質(zhì)量控制或確定電子設(shè)備。

左圖：激光刻蝕表面，帶表面紋理圖層的 3D 彩色編碼高度圖， C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

中圖：太陽(yáng)能電池表面的銀手指，帶表面紋理圖層的彩色編碼高度 3D 顯示圖，C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡

右圖：8 nm 臺(tái)階高度標(biāo)樣、高度圖，C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 物鏡