百級(jí)潔凈烘箱 BXDH-180F  

    用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

百級(jí)潔凈烘箱 BXDH-180F  

一．主要技術(shù)指標(biāo)

1.1、溫度范圍： 室溫＋30℃～200℃；升溫速率：3-6℃/min

1.2、溫度波動(dòng)度：±0.5℃；

1.3、溫度均勻度：100℃±2℃、200 ℃±4℃、250℃±5℃，（空載恒溫20min后檢測(cè)）；

1.4、工作室尺寸（單腔）：600（寬）*500（深）*600（高）mm；

1.5 、采用日本"富士"溫度控制器，控制器液晶顯示及設(shè)定、PID 自動(dòng)演算、薄膜設(shè)定，精確度±0.3%FS；

1.6、潔凈度（class）：100

1.7、功率：12.0KW

1.8、電源：380V/50Hz

二、 氣流控制方式：

2.1、強(qiáng)制循環(huán)通風(fēng)，控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定之溫度點(diǎn)通過PID自動(dòng)運(yùn)算輸出的結(jié)果去控制加熱器的輸出量，最終達(dá)到平衡

2.2、氣流循環(huán)裝置：內(nèi)置空調(diào)間、循環(huán)風(fēng)道及通風(fēng)電機(jī)；

2.3、加熱方式：采用進(jìn)口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器。

2.4、隔板要求：每個(gè)腔體配二個(gè)隔板，用不銹鋼板沖孔制成，隔板四邊與箱體緊密接觸。

三、箱體結(jié)構(gòu)

3.1、箱體外壁材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，耐腐蝕，美觀大方；

3.2、箱體內(nèi)壁材料：采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板全周氬弧焊，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，有效防止機(jī)臺(tái)本身灰塵的產(chǎn)生；

3.3、保溫材料：采用特細(xì)超白玻璃纖維120K級(jí)高密度保溫棉填充，有效地防止了熱能浪費(fèi)。

3.4、箱體為整體組合結(jié)構(gòu)，頂部為電器控制柜，內(nèi)裝的電器控制系統(tǒng)，下部為腔體。電控柜外圍的溫度≦50度，可避免人員燙傷。

3.5、裝有氮?dú)饨涌?，能將箱?nèi)空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮?dú)庵羞M(jìn)行；(氮?dú)饬髁坑?jì)需安裝在箱體的正面，進(jìn)氣口安裝在箱體的后部，安裝8mm管徑的進(jìn)氣口。）

3.6、箱體內(nèi)裝有高效過濾器，有效過濾99.99％0.3um以上顆粒，達(dá)到更好潔凈效果。

四、測(cè)控系統(tǒng)：

4.1、控制面板：面板上功能標(biāo)識(shí)齊全，設(shè)備的運(yùn)行分別用“啟動(dòng)"“停止"來控制，各種狀態(tài)指示齊全，有恒定運(yùn)行指示、程序運(yùn)行指示、加熱指示、定時(shí)結(jié)束指示、超溫指示

4.2、控制器要求：采用富士溫度控制器，根據(jù)工藝要求可設(shè)置恒定溫度運(yùn)行，及多段程序編輯。

4.3、運(yùn)行方式：程序運(yùn)行、恒定運(yùn)行（設(shè)備上默認(rèn)程序運(yùn)行）；

     恒定運(yùn)行時(shí)：設(shè)備裝有電磁鎖，設(shè)備運(yùn)行時(shí)電磁鎖動(dòng)作將門鎖住； 程序結(jié)束后，方可打開箱門。

 4.4、采用獨(dú)立的超溫保護(hù)裝置，確保溫度不超限；當(dāng)保護(hù)裝置動(dòng)作時(shí)自動(dòng)切斷加熱電源并進(jìn)行聲光報(bào)警、超溫保護(hù)控制儀采用LED顯示控制器

 4.5、電控柜超溫保護(hù)及緊急開關(guān)。

4.6、降溫方式：自然降溫。

五、設(shè)備具有的 安全保護(hù)措施：

 5.1、安全可靠的接地；

 5.2、工作室超溫保護(hù)；   

 5.3、加熱器短路保護(hù)；

六、設(shè)備的運(yùn)輸與現(xiàn)場(chǎng)安裝

6.1、安裝設(shè)備：液壓叉車或吊車1臺(tái).

6.2、設(shè)備卸裝/就位：設(shè)備運(yùn)到客戶現(xiàn)場(chǎng)后由客戶檢驗(yàn)設(shè)備有無損傷，若無損傷，客戶負(fù)責(zé)設(shè)備的卸裝到客戶指定的位置.

6.3、安裝前準(zhǔn)備：設(shè)備安裝前，客戶需要提前做好相關(guān)準(zhǔn)備，具體參數(shù)見（設(shè)備正常運(yùn)行條件）

6.4、現(xiàn)場(chǎng)施工：由客戶負(fù)責(zé)：在設(shè)備使用現(xiàn)場(chǎng)的設(shè)備就位，包括設(shè)備卸裝，設(shè)備外接電線的布線至設(shè)備總開關(guān)處，廠房的抽風(fēng)系統(tǒng)（含風(fēng)罩等）。

七、 產(chǎn)品執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：JB/T5520-91干燥箱技術(shù)條件

八、 配備技術(shù)資料： 技術(shù)資料：產(chǎn)品合格證、使用說明書、儀表使用說明書等