精密級納米定位系統
雙軸,串聯運動。帶機械杠桿運動放大器的無摩擦柔性鉸鏈接頭。電容式位置傳感器實現穩(wěn)定性和線性度
PICMA高性能壓電陶瓷驅動器
帶全瓷絕緣的壓電陶瓷促動器 使用壽命更長、防潮性能佳、工作溫度達80攝氏度
應用領域
科研和工業(yè)中的樣本操作和定位,也適用于透射光應用
| 初步數據 | P-763.22C | |
|---|---|---|
| 主動軸 | X, Y | |
| | ||
| 集成傳感器 | 電容式傳感器 | |
| X、Y向上的閉環(huán)行程 | 200 | 微米 |
| X、Y向上的開環(huán)分辨率 | 1 | 納米 |
| X、Y向上的閉環(huán)分辨率 | 2 | 納米 |
| X、Y向上的線性誤差 | 0.02 | % |
| X、Y向上的重復精度 | ±5 | 納米 |
| | ||
| 帶負載時X向上的諧振頻率 | 180赫茲(260克) | 赫茲 |
| 負載容量 | 10 | 牛 |
| | ||
| 壓電陶瓷 | PICMA P-887 | |
| X、Y向上的電容 | 12.8 | 微法 |
| | ||
| 工作溫度范圍 | -20 到 80 | °C |
| 材料 | 鋁、鋼 | |
| 尺寸 | 70 毫米 × 70 毫米 × 25 毫米 | |
| 通孔尺寸 | 30毫米×30毫米 | |
| 電纜長度 | 1.5 | 米 |
| 連接 | 1個Sub-DMix,1個通道,分別用于X和Y軸 |


































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