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PSM等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時(shí)間2026-09-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量70
  • 人氣值681
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Hiden plasma probes measure some of the key plasma parameters and provide detailed information relating to plasma reaction chemistry.
PSM等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀 產(chǎn)品詳情

PSM是一臺(tái)差式泵質(zhì)譜儀(In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等離子過程中的二次離子和中性粒子。

 

·差式泵歧管,通過法蘭與過程反應(yīng)室連接

·電子附著選件,具有可調(diào)諧的離子源,用于表觀電勢(shì)MS
·Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
·信號(hào)選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布VS時(shí)間
·標(biāo)準(zhǔn)分析中性粒子、自由基,+ve / -ve 離子分析可選

 

·靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級(jí)過濾四極桿

·質(zhì)量數(shù)范圍:     0 ~ 2500amu

·脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍

·能量分析選件,標(biāo)準(zhǔn) ±100eV(1000eV可選 )

·Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選, 高壓操作可選
·通過RS232、RS485或Ethernet LAN ,軟件MASsoft 控制

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