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公司介紹主營產(chǎn)品

北京英格海德分析技術(shù)有限公司是分析儀器制造商在中國的代理。多年來，我們在客戶中建立了良好的聲譽。我們的客戶多數(shù)都是工作在新技術(shù)研究的前沿，如催化化學(xué)、氫能研究、等離子體物理、表面科學(xué)、大氣環(huán)境監(jiān)測、半導(dǎo)體材料和微納米測量領(lǐng)域。我們與他們保持著密切的、積極的關(guān)系。我們在為客戶提供儀器設(shè)備的同時，還為他們提供了及時周到的售后服務(wù)，讓用戶無后顧之憂，使其專心科研。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

20年前，Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強氧化性氣體如CIF3、NF3等。 20年來，Hiden在這一細分領(lǐng)域具有的產(chǎn)品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。 HPR-80腐蝕性氣體分析......

腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀產(chǎn)品詳情

腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀 HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過程研究而設(shè)計的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體，如反應(yīng)中間產(chǎn)物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體。

20年前，Hiden在國際期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測，如毒性氣體AsH₃、B₂H₆、PH₃等，強腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF₃等，強氧化性氣體如CIF₃、NF₃等。

20年來，Hiden在這一細分領(lǐng)域具有的產(chǎn)品力，針對不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。

HPR-80 腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。

主要特點：

連接件電拋光工藝處理
取樣壓力： 1mTorr to 1000Torr
高靈敏度三級過濾四極桿
檢測限可達 5 ppb
QGA專業(yè)版定量分析軟件

關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀

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