合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品概述:
EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合的頻率測(cè)量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測(cè)。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過(guò)程中,對(duì)膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。根據(jù)實(shí)時(shí)速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
合肥科晶 EQ-TM106膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 主要特點(diǎn):
本機(jī)可與計(jì)算機(jī)連接。 - 顯示儀具有界面簡(jiǎn)潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點(diǎn),可直觀顯示所測(cè)的膜厚、速率、頻率、PWM
- 控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。
- 通過(guò)軟件或顯示儀可對(duì)門(mén)控時(shí)間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進(jìn)行設(shè)置,并可將所測(cè)相關(guān)數(shù)據(jù)寫(xiě)入Excel文件。
- 具有體積超小、測(cè)量精度高、操作簡(jiǎn)單、使用方便等優(yōu)點(diǎn)。
EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件:
- 電源:DC5V(±10%),大電流400mA
- 頻率分辨率:±0.03Hz
- 膜厚分辨率:0.0136Å(鋁)
- 膜厚準(zhǔn)確度:±0.5%,取決于過(guò)程條件,特別是傳感器的位置,材料應(yīng)力,溫度和密度
- 測(cè)量速度:100ms-1s/次,可設(shè)置
- 測(cè)量范圍:500000Å(鋁)
- 標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體:6MHz
- 計(jì)算機(jī)接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8,停止位:1,校驗(yàn):無(wú))
- 模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調(diào)制輸出(集電極開(kāi)路或內(nèi)部5V輸出)
- 工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
- 外形尺寸:90mm×50mm×18mm
EQ-TM106-2顯示儀:
- 輸入電源:AC 220V±10%
- 輸出電源:DC 5V 3A
- 顯示器:12×2數(shù)碼管與LED
- 通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8位,停止位:1位 ,奇偶校驗(yàn):無(wú))
- 外形尺寸:182mm×65mm×160mm
EQ-TM106-3探頭:
- 適用晶片頻率:6MHz
- 適用晶片尺寸:Φ14mm
- 安裝法蘭:CF35
- 冷卻水管:Φ3mm,長(zhǎng)度300mm、500mm、1000mm
- 冷卻水壓:<0.3MPa
- 氣動(dòng)擋板路管:Φ3mm
壓縮空氣壓力:烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃
電氣接口:BCN插座
標(biāo)準(zhǔn)配件:1EQ-TM106-1監(jiān)測(cè)組件1個(gè)2EQ-TM106-2顯示儀1臺(tái)3EQ-TM106-3探頭1個(gè)




































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