吉時利 6517A 是一款高性能 6? 位靜電計 / 超高阻測試儀，具備飛安級微弱電流測量能力與超高阻測試精度，可精準測量微弱電流、高阻電壓、靜電電荷及超高絕緣電阻等參數(shù)。設(shè)備內(nèi)置 ±1kV 可編程高壓激勵源，支持加壓測流、階梯電壓掃描、時序絕緣測試等功能，搭載屏蔽驅(qū)動電路有效抑制線纜漏電流與環(huán)境干擾。支持溫濕度環(huán)境監(jiān)測、多點數(shù)據(jù)采集與歸零補償校準，可消除微弱信號測試系統(tǒng)誤差。標配 GPIB 程控接口與擴展掃描模塊，適用于絕緣材料電阻率測試、半導(dǎo)體器件微漏電檢測、靜電特性分析及高壓可靠性測試，是微弱電學信號與超高阻抗測試的精密專用儀器。

核心技術(shù)規(guī)格

1. 電流測量：1fA～20mA；輸入偏置電流＜3fA，噪聲低至 0.75fA（峰峰值），量程負載電壓＜20µV

2. 電壓測量：10µV～200V；輸入阻抗＞200TΩ，5? 位分辨率

3. 電阻測量：10Ω～200TΩ，搭配 8009 夾具可測至 101?Ω；支持極性反轉(zhuǎn)法消除本底漏電流

4. 電荷測量：10fC～2µC，用于靜電、介質(zhì)電荷采集

5. 內(nèi)置電壓源：±1kV 可編程雙極性高壓源，輸出功率 1W，支持 FVMI 加壓測流、階梯掃描

6. 環(huán)境監(jiān)測：標配 K 型熱電偶，測溫 - 25℃~150℃；可選 RH 濕度探頭  RH

7. 采集性能： 125 讀數(shù) / 秒；內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲，支持歸零補償、屏蔽 Guard 驅(qū)動

8. 擴展模塊：可選 6521/6522 多路掃描卡，最多 10 通道切換測量

9. 通訊接口：GPIB（IEEE488）、數(shù)字 I/O、外觸發(fā)、模擬輸出，SCPI 程控指令

10. 應(yīng)用：絕緣材料體積 / 表面電阻率、半導(dǎo)體器件柵極漏電流、光電探測器暗電流、高壓可靠性老化測試