在材料工程與失效分析領域，對微觀形貌的準確表征是確保產品性能與可靠性的基石，Evident（原奧林巴斯科學解決方案）推出的LEXT OLS5100 3D測量激光顯微鏡，正是為應對這一難題而生的工業(yè)級精密儀器，它并非傳統(tǒng)意義上的觀察工具，而是一套集成了智能工作流程與亞微米級測量能力的綜合解決方案，主要為研發(fā)與質量控制提供值得信賴的數(shù)據(jù)支持。

核心優(yōu)勢：精度、速度與智能化的融合

OLS5100的設計哲學圍繞著三個核心：保證的測量準確度、簡化的操作流程和智能的實驗管理。

保證的測量準確度

數(shù)據(jù)的可靠性是所有分析的前提，OLS5100通過專用的LEXT物鏡系列，在10倍至100倍的放大倍率下，有效校正了405nm激光波長的像差，確保在整個視場內都能捕捉到樣品真實的表面形貌，即便是邊緣區(qū)域也能實現(xiàn)無失真的準確測量，配合Smart Lens Advisor（智能鏡頭顧問）功能，系統(tǒng)能自動為粗糙度測量推薦最合適的物鏡，從源頭上保證了數(shù)據(jù)的有效性，測量性能基于可追溯體系，對準確度和可重復性均提供保證，讓每一次測量結果都充滿信心。

智能掃描，化繁為簡

無論是經驗豐富的專家還是初次接觸的用戶，都能通過Smart Scan II（智能掃描II）功能輕松獲取高質量數(shù)據(jù)，該功能集成了PEAK算法，能夠快速構建從低倍到高倍的高精度3D數(shù)據(jù)，對于具有垂直側壁的樣品（如MEMS器件或電子元件），系統(tǒng)可智能跳過Z軸上不必要的掃描范圍，將100μm臺階的測量時間縮短至約10秒，效率提升高達4倍，同時HDR掃描模式通過改變探測靈敏度獲取兩組形貌信息，確保了對高反差表面的準確重建。

智能實驗管理，賦能高效研發(fā)

面對復雜的材料測試，OLS5100的智能實驗管理器（Smart Experiment Manager）將繁瑣的流程自動化，用戶可以通過宏功能（Macro）錄制并自動執(zhí)行一整套檢測流程，一鍵完成從測量到合格/不合格判斷的全過程，軟件支持在實驗過程中靈活調整條件，并自動將數(shù)據(jù)填充至實驗計劃矩陣，極大地減少了人為輸入錯誤，最終測量結果以列表和熱圖形式直觀呈現(xiàn)，公差判斷功能讓質量評估一目了然。

技術規(guī)格與應用廣度

型號：載物臺類型：工作范圍：樣品高度

OLS5100-SAF：電動：100 x 100 mm：100 mm

OLS5100-EAF：電動：100 x 100 mm：210 mm

OLS5100-SMF：手動：100 x 100 mm：40 mm

OLS5100-LAF：電動：300 x 300 mm：37 mm

該系列顯微鏡綜合倍率覆蓋54x至17280x，高度測量顯示分辨率可達0.5nm，滿足亞微米級的形貌與粗糙度測量需求，應用范圍極為廣泛，涵蓋了從半導體晶圓的激光溝槽輪廓、5G印刷電路板的銅箔粗糙度，到汽車引擎閥門、軸承滾道的表面分析，再到器械如人工替代材料的孔隙評估等眾多高精尖工業(yè)領域。

作為一款專業(yè)的奧林巴斯光學顯微鏡，LEXT OLS5100不僅繼承了奧林巴斯顯微鏡在光學領域的深厚積淀，更代表了Evident品牌在工業(yè)檢測技術上的創(chuàng)新方向，它將光學性能與智能化的軟件工具相結合，為材料科學家和工程師提供了一個大而可靠的分析平臺，助力在微觀世界中洞察秋毫，驅動技術創(chuàng)新。

Evident奧林巴斯顯微鏡

Evident-奧林巴斯光學顯微鏡-OLS5100