SAKAGUCHI坂口電熱平面加熱裝置Ex-Laser

SAKAGUCHI坂口電熱平面加熱裝置Ex-Laser

多功能激光平面瞬間加熱裝置EXL-CT-010-DS55，激光平面加熱裝置ELL-CT-050-FC13，桌面型激光平面加熱裝置Ex-Laser，極簡激光氫退火裝置

產(chǎn)品介紹

ExLASER® 是一款多功能激光平面瞬間加熱裝置。

特點(diǎn)

可實(shí)現(xiàn)超高速的升溫降溫

2英寸基板一次性均勻加熱

僅可對(duì)被加熱對(duì)象進(jìn)行直接加熱

可實(shí)現(xiàn)與工藝相匹配的溫度控制

在不加熱氛圍的情況下實(shí)現(xiàn)節(jié)能

用途示例

MBE裝置的基板加熱

晶圓退火（碳化硅SiC、砷化鎵GaAS等）

可對(duì)多層結(jié)構(gòu)器件的表層進(jìn)行退火（適用于微細(xì)化器件）

激光平面加熱裝置“X-Laser”實(shí)現(xiàn)緊湊設(shè)計(jì)與小面積加熱的“Light”全新登場！

特點(diǎn)

相比傳統(tǒng)的ExLASER，設(shè)計(jì)更緊湊。

實(shí)現(xiàn)小面積（φ0.5英寸）單次加熱。

寬型置物架一體型。帶腳輪可移動(dòng)。

操作也很簡單。

與傳統(tǒng)機(jī)一樣，實(shí)現(xiàn)超高速的升溫降溫。

僅對(duì)被加熱對(duì)象物進(jìn)行直接加熱。不會(huì)加熱周圍環(huán)境。

卓上型 ExLASER®(エックス?レーザー)

先進(jìn)的加熱系統(tǒng)“激光平面瞬間加熱裝置ExLASER®(Ex-Laser)”推出了桌面型。 憑借其緊湊的設(shè)計(jì)，可用于研究、測試等各種場景。

特點(diǎn)

卓上型尺寸的緊湊設(shè)計(jì)

由于加熱部和控制部是一體化的，因此可以進(jìn)行臺(tái)面測試。

由于采用激光加熱，即使在空氣中也能直接加熱。

實(shí)現(xiàn)低功耗高功率密度（※）

如果需要真空加熱，可以選擇加裝腔體。

極簡激光氫退火裝置

＜通過原子級(jí)平滑化和圓角控制硅微結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)MEMS器件在各種領(lǐng)域和應(yīng)用中的高性能與高可靠性！＞

我們利用東北大學(xué)金森義明教授發(fā)明的Atomic-Antialiasing Annealing (AAA) 技術(shù)，通過氫氣氛退火實(shí)現(xiàn)立體結(jié)構(gòu)的平滑化和圓角控制的新技術(shù)，通過H30至R2年度的Sapo-in項(xiàng)目，與東北大學(xué)、產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所及Minimal Fab推進(jìn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行了共同開發(fā)并成功產(chǎn)品化。

特點(diǎn)

φ12.5mm晶圓（單片處理）

緊湊的機(jī)箱（寬度約30cm）

不需要潔凈室

低功耗（額定AC100V 10A）

超高真空対応（5 × 10 -5 Pa 以下）

急速升降溫（1100℃，2.5秒）

穩(wěn)定的溫度控制（1100℃±0.5℃）

均勻溫度分布（波動(dòng)（σ/Ave.）0.5%）