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White Knight公司簡(jiǎn)介

White Knight公司于1995年正式成立于美國(guó)猶他州卡馬斯市，是將全非金屬流體輸送方案規(guī)模化落地在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的廠商之一。在生產(chǎn)質(zhì)控體系上，公司堅(jiān)持全流程自主可控的自研自產(chǎn)模式，從PTFE原料模壓、燒結(jié)、精密機(jī)加工到最終組裝測(cè)試全部在自有工廠完成，所有高純產(chǎn)品的組裝、測(cè)試、包裝環(huán)節(jié)都在Class 100級(jí)潔凈室內(nèi)完成，每一臺(tái)出廠設(shè)備都保留完整的全生命周期生產(chǎn)記錄，杜絕外部代工帶來的品質(zhì)變量，保障產(chǎn)品在嚴(yán)苛工況下的長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性。

White Knight的產(chǎn)品體系圍繞“全通路無金屬污染”的核心技術(shù)特點(diǎn)搭建，形成五大核心產(chǎn)品板塊，所有產(chǎn)品的流體接觸路徑全部采用PTFE或PFA材質(zhì)打造，規(guī)避金屬離子析出、橡膠O型圈溶脹污染的行業(yè)痛點(diǎn)。

第一大板塊是核心泵類產(chǎn)品線，也是品牌的起家核心業(yè)務(wù)，覆蓋風(fēng)囊泵、隔膜泵、計(jì)量泵、微量泵四大品類，全系列產(chǎn)品無電機(jī)、無動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，運(yùn)行過程無發(fā)熱、無泄漏風(fēng)險(xiǎn)，部分型號(hào)搭載外置電磁閥與雙接近傳感器，可實(shí)現(xiàn)泵行程的精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)與系統(tǒng)閉環(huán)控制，適配高要求的化學(xué)品循環(huán)與輸送工況，常規(guī)型號(hào)可耐受100℃高溫流體，在7bar供氣壓力下可長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。進(jìn)口white knight循環(huán)泵PSA015-F-L08計(jì)量泵

第二大板塊是流體與氣體加熱系統(tǒng)，由收購(gòu)的Heateflex品牌技術(shù)整合而來，包含DI水加熱系統(tǒng)、在線流體加熱器、在線流體換熱器、沉浸罐式加熱器等細(xì)分品類，所有加熱接觸路徑同樣采用高純非金屬材質(zhì)，可精準(zhǔn)控制超純流體的加熱溫度，避免加熱過程中引入雜質(zhì)污染，適配半導(dǎo)體濕法工藝的高精度溫控需求。

第三大板塊是濕法工藝罐體產(chǎn)品線，覆蓋石英罐體、高純塑料罐體、藍(lán)寶石刻蝕罐體、兆聲清洗系統(tǒng)等品類，針對(duì)半導(dǎo)體晶圓清洗、刻蝕等核心濕法工藝場(chǎng)景定制開發(fā)，罐體材質(zhì)耐強(qiáng)酸堿、耐高純有機(jī)溶劑腐蝕，不會(huì)向工藝流體中析出任何雜質(zhì)顆粒，保障晶圓加工的良率穩(wěn)定性。

第四大板塊是閥類與流體控制元件產(chǎn)品線，整合了iPolymer品牌的技術(shù)積累，包含手動(dòng)閥、氣動(dòng)閥、回吸閥、電磁閥、PTFE噴槍等品類，同時(shí)配套脈動(dòng)阻尼器、過濾器外殼、脫泡器、壓力容器、壓力調(diào)節(jié)器等周邊元件，所有元件的流體通路全部采用全 sweep 設(shè)計(jì)，無任何流體滯留死角，可避免化學(xué)品殘留結(jié)晶帶來的系統(tǒng)堵塞問題。

第五大板塊是閉環(huán)控制系統(tǒng)產(chǎn)品線，也是品牌的技術(shù)產(chǎn)品，可將泵、加熱元件、閥門、傳感元件整合為全自動(dòng)閉環(huán)流體管控系統(tǒng)，無需額外外接電路與反饋模塊，即可自動(dòng)維持流體壓力、流量、溫度的高精度穩(wěn)定控制，大幅簡(jiǎn)化高純流體系統(tǒng)的部署復(fù)雜度，該產(chǎn)品也是2013年行業(yè)獎(jiǎng)項(xiàng)的入圍核心產(chǎn)品。

White Knight產(chǎn)品核心適配所有對(duì)流體潔凈度有要求的工業(yè)場(chǎng)景，其中最核心的應(yīng)用領(lǐng)域是半導(dǎo)體晶圓制造行業(yè)，產(chǎn)品廣泛部署在濕法刻蝕、晶圓清洗、電子級(jí)化學(xué)品輸送循環(huán)等核心工藝環(huán)節(jié)，是全球頭部晶圓廠的主流標(biāo)配流體處理設(shè)備，可避免金屬離子污染晶圓導(dǎo)致的良率損失。

在新能源光伏與LED制造領(lǐng)域，產(chǎn)品適配電池片清洗液、顯影液、高純摻雜劑的輸送與循環(huán)場(chǎng)景，全非金屬材質(zhì)不會(huì)被強(qiáng)腐蝕性的光伏工藝化學(xué)品腐蝕，也不會(huì)向流體中引入雜質(zhì)顆粒，保障光伏電池、LED芯片的生產(chǎn)精度與產(chǎn)品良率。

在平板顯示制造行業(yè)，產(chǎn)品用于高潔凈顯影液、刻蝕液的精準(zhǔn)輸送與溫控環(huán)節(jié)，大尺寸面板的濕法加工工藝對(duì)流體雜質(zhì)含量要求，White Knight的全通路無污染產(chǎn)品可有效避免面板出現(xiàn)顯示點(diǎn)缺陷，保障大尺寸面板的生產(chǎn)良率。

除此之外，產(chǎn)品還廣泛應(yīng)用在電子化學(xué)品加工、生物醫(yī)藥高潔凈流體輸送、特種精細(xì)化工等領(lǐng)域，所有對(duì)流體純度有要求、同時(shí)流體具備強(qiáng)腐蝕性的工況，都可以通過其全系列高純流體處理產(chǎn)品搭建完整的無金屬污染流體輸送體系，滿足嚴(yán)苛的生產(chǎn)工藝要求。

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White Knight產(chǎn)品介紹

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White Knight 核心泵類系列

PSM060氣動(dòng)風(fēng)囊泵是該系列的暢銷主力型號(hào)，整機(jī)流體接觸路徑100%采用高純PTFE和PFA材質(zhì)打造，無任何暴露金屬部件，可避免金屬離子析出污染高純度工藝流體。該型號(hào)最大流量可達(dá)34升/分鐘，最高耐受工作壓力為7bar，適配絕大多數(shù)半導(dǎo)體濕法工藝的化學(xué)品循環(huán)與輸送需求，運(yùn)行過程無動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，杜絕跑冒滴漏風(fēng)險(xiǎn)，整機(jī)無電機(jī)設(shè)計(jì)，運(yùn)行過程不會(huì)產(chǎn)生額外熱量導(dǎo)致流體溫度異常上升。它的最大耐受工作溫度可達(dá)100℃，適配各類強(qiáng)腐蝕性的酸、堿、電子級(jí)有機(jī)溶劑工況，全系列產(chǎn)品在Class 100潔凈室內(nèi)完成組裝、測(cè)試與封裝，出廠前經(jīng)過多輪壓力與密封性校驗(yàn)，長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性遠(yuǎn)超傳統(tǒng)金屬泵體的輸送設(shè)備。

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PSR025氣動(dòng)雙風(fēng)囊泵是該系列的緊湊型暢銷型號(hào)，流體通路全PTFE/PFA無金屬設(shè)計(jì)，最大流量可達(dá)21.9升/分鐘，空氣接口規(guī)格為1/4英寸FNPT，單循環(huán)排量為0.074升，每分鐘最高循環(huán)次數(shù)可達(dá)300次，整機(jī)重量?jī)H2.5kg，占用安裝空間極小，適配安裝空間有限的小型半導(dǎo)體工藝設(shè)備內(nèi)部集成場(chǎng)景。該型號(hào)最大自吸高度可達(dá)1米，空載運(yùn)行時(shí)的聲壓級(jí)僅69.38dB(A)，運(yùn)行噪音極低，無需額外加裝隔音裝置即可部署在潔凈車間內(nèi)部，最高耐受溫度100℃，最大工作壓力4bar，可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行輸送各類高純化學(xué)品，不會(huì)出現(xiàn)流體滯留結(jié)晶堵塞的問題。進(jìn)口white knight循環(huán)泵PSA015-F-L08計(jì)量泵

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PSR050大流量氣動(dòng)雙風(fēng)囊泵是該系列的大流量暢銷型號(hào)，流體接觸路徑同樣采用全PTFE/PFA材質(zhì)打造，最大流量可達(dá)57.5升/分鐘，空氣接口規(guī)格為1/4英寸FNPT，單循環(huán)排量為0.178升，每分鐘最高循環(huán)次數(shù)可達(dá)258次，整機(jī)重量5.0kg，最大自吸高度1米，運(yùn)行聲壓級(jí)最高79.12dB(A)，適配中大型半導(dǎo)體化學(xué)品循環(huán)系統(tǒng)的大流量輸送需求。該型號(hào)無彈性體O型圈設(shè)計(jì)，避免普通橡膠密封件被強(qiáng)腐蝕化學(xué)品溶脹破碎污染流體的風(fēng)險(xiǎn)，全 sweep 流體通路設(shè)計(jì)，沒有任何流體滯留的死區(qū)，可適配高純度光刻膠、顯影液等易結(jié)晶流體的輸送場(chǎng)景，長(zhǎng)期運(yùn)行不會(huì)出現(xiàn)管路堵塞問題。

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White Knight 計(jì)量泵系列

PPM100氣動(dòng)計(jì)量泵是該系列的暢銷主力型號(hào)，流體回路全PTFE高純材質(zhì)打造，無任何暴露金屬部件，單次沖程可精準(zhǔn)分配10-100毫升流體，分配重復(fù)精度高達(dá)±0.1%，高精度化學(xué)品定量加注的工藝要求。它的手動(dòng)控制行程限位器可無級(jí)調(diào)節(jié)分配流量，行程速度支持自定義調(diào)節(jié)，運(yùn)行過程無泄漏、無需日常維護(hù)，全PTFE滾動(dòng)隔膜設(shè)計(jì)可承受最高85psi的出口壓力，進(jìn)、出口配置正向控制閥，可避免氣體竄流影響分配精度。該型號(hào)支持泄漏檢測(cè)功能，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)泵體密封狀態(tài)，整機(jī)重量?jī)H1.6kg，最大自吸高度可達(dá)4.6米，可任意角度安裝部署，在Class 100潔凈室內(nèi)完成組裝測(cè)試，適配半導(dǎo)體、光伏行業(yè)各類電子級(jí)化學(xué)品的精準(zhǔn)定量加注場(chǎng)景。

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PEM050電子計(jì)量泵是該系列的高精度暢銷型號(hào)，單次沖程可精準(zhǔn)分配1-50毫升超高純化學(xué)品，搭載全支撐滾動(dòng)隔膜結(jié)構(gòu)，最大排出壓力可達(dá)55psi，進(jìn)、出口配置正控閥門，消除普通止回閥帶來的分配精度波動(dòng)問題，分配重復(fù)精度高達(dá)±0.01%，遠(yuǎn)超行業(yè)普通計(jì)量泵的精度水平。它的沖程由電子系統(tǒng)精準(zhǔn)控制，沖程速度支持全范圍無級(jí)調(diào)節(jié)，所有流體接觸表面100%采用PTFE材質(zhì)打造，全 sweep 流道無任何滯留死角，支持2-6個(gè)流體端口配置，流體進(jìn)出可任意切換端口，集成可編程回吸邏輯，可避免分配結(jié)束后滴液污染工藝環(huán)境。該型號(hào)支持可視化位置參考功能，便于現(xiàn)場(chǎng)快速調(diào)試校準(zhǔn)，支持任意角度安裝，自吸性能優(yōu)異，整機(jī)占地面積緊湊， hold-up 容積極小，適配半導(dǎo)體濕法工藝中超純?cè)噭┑母呔榷糠峙鋱?chǎng)景。

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PSD06高精度分配泵是該系列的緊湊型暢銷型號(hào)，全PTFE流體通路無金屬設(shè)計(jì)，可精準(zhǔn)完成小體積高純化學(xué)品的定量分配，運(yùn)行過程無動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，杜絕泄漏風(fēng)險(xiǎn)，適配各類對(duì)分配精度要求的精細(xì)化工與半導(dǎo)體工藝場(chǎng)景。該型號(hào)的安裝與調(diào)試流程在配套的手冊(cè)中有詳細(xì)指引，還附帶多款可擴(kuò)展功能配件，可進(jìn)一步拓展設(shè)備的適配場(chǎng)景，品牌為其提供的質(zhì)保服務(wù)與全球技術(shù)支持，所有產(chǎn)品出廠前經(jīng)過嚴(yán)格的性能校驗(yàn)，可嚴(yán)苛工況下的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行要求，不會(huì)向高純流體中引入任何雜質(zhì)污染。

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White Knight 流體加熱系列

HF-030在線流體加熱器是該系列的暢銷主力型號(hào)，流體接觸路徑全部采用高純PFA材質(zhì)打造，無任何金屬部件接觸工藝流體，可將超純DI水、各類電子級(jí)化學(xué)品精準(zhǔn)加熱到最高93℃，加熱過程無金屬離子析出，不會(huì)污染高純流體。它的最大耐受工作壓力可達(dá)6.9bar，適配半導(dǎo)體濕法清洗工藝的高精度溫控需求，內(nèi)置高精度溫度傳感元件，溫控精度可達(dá)±1℃，可避免流體溫度波動(dòng)影響晶圓清洗效果。該型號(hào)體積緊湊，可直接集成在濕法工藝管路中，無需額外預(yù)留大型安裝空間，全流道設(shè)計(jì)，沒有任何流體滯留區(qū)域，長(zhǎng)期運(yùn)行不會(huì)出現(xiàn)局部過熱導(dǎo)致的流體變質(zhì)問題，適配12英寸晶圓制造廠的超純水加熱循環(huán)場(chǎng)景。進(jìn)口white knight循環(huán)泵PSA015-F-L08計(jì)量泵

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HF-060大流量在線流體加熱器是該系列的大流量暢銷型號(hào)，全PFA無金屬流體通路設(shè)計(jì)，最大支持60升/分鐘的大流量流體連續(xù)加熱，最高加熱溫度可達(dá)93℃，最大耐受工作壓力6.9bar，適配中大型半導(dǎo)體濕法刻蝕生產(chǎn)線的大流量加熱需求。它的內(nèi)置溫控模塊支持與上位控制系統(tǒng)實(shí)時(shí)通訊，可遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控流體出口溫度，自動(dòng)調(diào)節(jié)加熱功率維持溫度穩(wěn)定，整機(jī)外殼采用耐腐蝕非金屬材質(zhì)封裝，可直接部署在潔凈車間內(nèi)部，不會(huì)被周邊腐蝕性工藝氣體腐蝕，全系列產(chǎn)品在Class 100潔凈室內(nèi)完成組裝測(cè)試，加熱過程不會(huì)向流體中引入任何顆粒雜質(zhì)，保障晶圓加工的工藝良率。

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ST-100沉浸罐式加熱器是該系列的罐體式暢銷型號(hào)，加熱元件全部采用高純石英材質(zhì)打造，無金屬部件接觸罐內(nèi)流體，可將罐內(nèi)大體積高純流體均勻加熱到最高100℃，適配半導(dǎo)體濕法工藝的罐體式流體恒溫存儲(chǔ)需求。它的內(nèi)置液位保護(hù)傳感器，可在液位過低時(shí)自動(dòng)切斷加熱電源，避免干燒損壞設(shè)備，罐體外殼采用耐強(qiáng)腐蝕的PP材質(zhì)封裝，可長(zhǎng)期在充滿酸性工藝氣體的環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，全流道無任何金屬部件，杜絕金屬離子析出污染罐內(nèi)高純化學(xué)品，廣泛應(yīng)用于晶圓清洗線的藥液恒溫存儲(chǔ)場(chǎng)景。

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White Knight 閥類與控制元件系列

HPV系列高純調(diào)壓閥是該系列的暢銷主力型號(hào)，流體通路全PTFE/PFA材質(zhì)打造，全 sweep 設(shè)計(jì)，無任何流體滯留死區(qū)，可在高純流體循環(huán)回路中自動(dòng)維持穩(wěn)定的輸出壓力，無需額外外接復(fù)雜反饋電路，即可實(shí)現(xiàn)高精度壓力控制。它的壓力調(diào)節(jié)范圍覆蓋0-7bar，適配絕大多數(shù)半導(dǎo)體高純流體系統(tǒng)的壓力穩(wěn)定需求，運(yùn)行過程無金屬部件接觸流體，不會(huì)析出雜質(zhì)污染工藝流體，閥體結(jié)構(gòu)緊湊，可直接集成在狹小的工藝管路中，長(zhǎng)期運(yùn)行無泄漏風(fēng)險(xiǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體化學(xué)品輸送回路的壓力穩(wěn)壓場(chǎng)景。

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PFA系列氣動(dòng)隔膜閥是該系列的高可靠暢銷型號(hào)，流體接觸路徑全部采用高純PFA材質(zhì)打造，無任何金屬部件接觸流體，閥體流道全通徑，開關(guān)動(dòng)作響應(yīng)速度快，密封性能優(yōu)異，可耐受最高100℃的強(qiáng)腐蝕性流體，適配高純流體管路的通斷控制需求。它的驅(qū)動(dòng)氣源接口采用標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)規(guī)格，可直接對(duì)接工廠現(xiàn)有氣動(dòng)控制系統(tǒng)，閥體支持任意角度安裝，長(zhǎng)期開關(guān)動(dòng)作壽命可達(dá)數(shù)百萬次，運(yùn)行穩(wěn)定性遠(yuǎn)超普通金屬閥體的隔膜閥，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法工藝管路的流體通斷控制場(chǎng)景。

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DF系列高純脫泡器是該系列的功能型暢銷型號(hào)，流體通路全PTFE/PFA材質(zhì)打造，無金屬部件接觸流體，可在半導(dǎo)體晶圓加工的化學(xué)輸送系統(tǒng)中高效脫除流體中的微小氣泡，避免氣泡進(jìn)入工藝環(huán)節(jié)影響晶圓加工精度。它的全耐腐蝕結(jié)構(gòu)可適配各類強(qiáng)腐蝕性高純化學(xué)品，安裝方式靈活多樣，可直接串聯(lián)在工藝管路中，無需額外占用大量安裝空間，脫泡過程不會(huì)向流體中引入任何顆粒雜質(zhì)，長(zhǎng)期運(yùn)行維護(hù)量極低，廣泛應(yīng)用于光刻膠輸送、晶圓濕法清洗等對(duì)氣泡含量要求的工藝場(chǎng)景。進(jìn)口white knight循環(huán)泵PSA015-F-L08計(jì)量泵

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大流量風(fēng)囊泵系列

PLF120是該系列的旗艦級(jí)暢銷大流量風(fēng)囊泵，整機(jī)流體接觸路徑100%采用高純PTFE材質(zhì)打造，無任何暴露金屬部件，杜絕金屬離子析出污染高純度工藝流體的風(fēng)險(xiǎn)。該型號(hào)最大流量可達(dá)120升/分鐘，最高耐受工作壓力為7.6bar，適配12英寸晶圓廠的全廠集中式高純化學(xué)品循環(huán)輸送需求，運(yùn)行過程無動(dòng)密封結(jié)構(gòu)，杜絕跑冒滴漏風(fēng)險(xiǎn)，整機(jī)無電機(jī)設(shè)計(jì)，運(yùn)行過程不會(huì)產(chǎn)生額外熱量導(dǎo)致流體溫度異常上升。它的最高耐受工作溫度可達(dá)110℃，適配各類強(qiáng)腐蝕性的高濃度酸、堿、電子級(jí)有機(jī)溶劑工況，全系列產(chǎn)品在Class 100潔凈室內(nèi)完成組裝、測(cè)試與封裝，出廠前經(jīng)過多輪壓力與密封性校驗(yàn)，長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性遠(yuǎn)超傳統(tǒng)金屬泵體的輸送設(shè)備，還支持光纖式行程檢測(cè)與泄漏檢測(cè)功能，可實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)泵體運(yùn)行狀態(tài)。

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PLF080是該系列的中流量暢銷型號(hào)，流體通路全PTFE/PFA無金屬設(shè)計(jì)，最大流量可達(dá)80升/分鐘，空氣接口規(guī)格為3/8英寸FNPT，單循環(huán)排量為0.24升，每分鐘最高循環(huán)次數(shù)可達(dá)330次，整機(jī)重量?jī)H7.2kg，相比同流量級(jí)別的其他品牌泵體體積縮小30%，適配中大型半導(dǎo)體工藝設(shè)備的內(nèi)部集成場(chǎng)景。該型號(hào)最大自吸高度可達(dá)1.2米，空載運(yùn)行時(shí)的聲壓級(jí)僅72dB(A)，運(yùn)行噪音極低，無需額外加裝隔音裝置即可部署在潔凈車間內(nèi)部，最高耐受溫度110℃，最大工作壓力6.9bar，可24小時(shí)不間斷連續(xù)運(yùn)行輸送各類高純化學(xué)品，全 sweep 流體通路設(shè)計(jì)，沒有任何流體滯留的死區(qū)，不會(huì)出現(xiàn)高粘度光刻膠、顯影液等易結(jié)晶流體的輸送殘留堵塞問題。

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PLF040是該系列的緊湊型大流量暢銷型號(hào)，流體接觸路徑同樣采用全PTFE/PFA材質(zhì)打造，最大流量可達(dá)40升/分鐘，空氣接口規(guī)格為1/4英寸FNPT，單循環(huán)排量為0.12升，每分鐘最高循環(huán)次數(shù)可達(dá)350次，整機(jī)重量?jī)H3.8kg，是同流量級(jí)別中體積最小的工業(yè)級(jí)高純風(fēng)囊泵。該型號(hào)無彈性體O型圈設(shè)計(jì)，避免普通橡膠密封件被強(qiáng)腐蝕化學(xué)品溶脹破碎污染流體的風(fēng)險(xiǎn)，全PTFE風(fēng)囊采用多層復(fù)合抗疲勞結(jié)構(gòu)，往復(fù)運(yùn)行壽命可達(dá)1000萬次以上，長(zhǎng)期運(yùn)行不會(huì)出現(xiàn)風(fēng)囊開裂破損的問題，適配安裝空間有限的光伏、LED生產(chǎn)線的大流量藥液循環(huán)場(chǎng)景，在Class 100潔凈室內(nèi)完成全流程組裝測(cè)試，高潔凈度工藝要求。

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閉環(huán)控制系統(tǒng)系列

CLS-100是該系列的暢銷基礎(chǔ)款閉環(huán)流體控制系統(tǒng)，將泵體、壓力傳感元件、流量調(diào)節(jié)模塊、控制單元深度集成在一體化機(jī)架中，所有流體接觸路徑全部采用高純PTFE/PFA材質(zhì)打造，無任何暴露金屬部件，可自動(dòng)維持流體輸出壓力的穩(wěn)定，壓力控制精度可達(dá)±0.02bar以內(nèi)。該系統(tǒng)無需額外外接PLC/DCS控制系統(tǒng)，內(nèi)置獨(dú)立的控制邏輯單元，可直接通過面板設(shè)置目標(biāo)壓力，自動(dòng)調(diào)節(jié)泵體運(yùn)行頻率維持輸出穩(wěn)定，適配半導(dǎo)體濕法工藝中對(duì)流體壓力穩(wěn)定性有要求的涂膠、顯影場(chǎng)景。它的最大支持流量可達(dá)30升/分鐘，最高耐受工作溫度90℃，整機(jī)在Class 100潔凈室內(nèi)完成組裝調(diào)試，出廠前經(jīng)過72小時(shí)連續(xù)運(yùn)行穩(wěn)定性測(cè)試，可直接部署在潔凈車間內(nèi)部，大幅簡(jiǎn)化高純流體系統(tǒng)的部署復(fù)雜度。

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CLS-200是該系列的大流量暢銷閉環(huán)控制系統(tǒng)，在CLS-100的基礎(chǔ)上大幅提升了流體輸送能力，最大支持流量可達(dá)80升/分鐘，壓力控制精度依然維持在±0.02bar以內(nèi)，適配大尺寸面板廠的集中式高純流體供給場(chǎng)景。該系統(tǒng)集成了多通道流量監(jiān)測(cè)模塊，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)回路中各分支管路的流體流量，自動(dòng)平衡各支路的流體供給壓力，避免不同工藝點(diǎn)位之間出現(xiàn)壓力互相干擾的問題，所有流體接觸部件全部采用全 sweep 設(shè)計(jì)，沒有任何流體滯留死區(qū)，換液沖洗時(shí)間相比傳統(tǒng)系統(tǒng)縮短60%，大幅提升生產(chǎn)線換型效率。它支持工業(yè)以太網(wǎng)通訊接口，可直接接入工廠的上位SCADA系統(tǒng)，遠(yuǎn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)與各項(xiàng)參數(shù)，適配大規(guī)模自動(dòng)化生產(chǎn)線的集中管控需求。進(jìn)口white knight循環(huán)泵PSA015-F-L08計(jì)量泵

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CLS-300是該系列的高精度溫控型閉環(huán)控制系統(tǒng)，在壓力、流量閉環(huán)控制的基礎(chǔ)上集成了高精度流體加熱模塊，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)流體壓力、流量、溫度的三重閉環(huán)精準(zhǔn)控制，溫度控制精度可達(dá)±0.5℃以內(nèi)，適配半導(dǎo)體晶圓濕法清洗工藝的高精度恒溫恒壓流體供給需求。該系統(tǒng)的加熱元件全部采用高純石英材質(zhì)打造，無任何金屬部件接觸流體，加熱過程不會(huì)向高純流體中析出任何雜質(zhì)，最大支持加熱功率可達(dá)12kW，可將大流量超純DI水快速精準(zhǔn)加熱到設(shè)定溫度，整機(jī)自帶多重過熱、液位、壓力保護(hù)機(jī)制，出現(xiàn)異常工況時(shí)可自動(dòng)觸發(fā)報(bào)警并停機(jī)，避免設(shè)備損壞與工藝事故，廣泛應(yīng)用于12英寸晶圓制造廠的先進(jìn)濕法工藝生產(chǎn)線中。

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高純罐體與周邊元件系列

VT-05是該系列的暢銷5升高純壓力罐體，罐體主體采用高純PFA擠出管材一體加工成型，所有流體接觸路徑全部為PTFE/PFA材質(zhì)，無任何金屬部件，不會(huì)污染高純工藝流體。它的兩端采用PTFE歧管端蓋設(shè)計(jì)，標(biāo)配10個(gè)自定義連接端口，可靈活配置填充口、供給口、液位傳感器接口、排氣口等元件，無需額外外接轉(zhuǎn)接塊，大幅簡(jiǎn)化系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。該型號(hào)的最高工作壓力可達(dá)7.6bar，可實(shí)現(xiàn)層流無脈動(dòng)的流體供給，解決了泵類輸送帶來的流體脈動(dòng)問題，保障工藝端的流體壓力絕對(duì)穩(wěn)定，罐體標(biāo)配多檔位電容式液位傳感器，可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)內(nèi)部液位狀態(tài)，無需人工開蓋檢查，所有連接部位都采用舌槽密封結(jié)構(gòu)，沒有使用橡膠O型圈，不會(huì)出現(xiàn)溶脹泄漏的問題，適配精密涂膠工藝、微量高純化學(xué)品供給等對(duì)流體脈動(dòng)有嚴(yán)格限制的場(chǎng)景。

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VT-10是該系列的大容量暢銷10升高純壓力罐體，是工業(yè)場(chǎng)景中應(yīng)用泛的大容量規(guī)格，可適配大流量工藝的長(zhǎng)時(shí)間無脈動(dòng)流體供給需求，大幅減少人工補(bǔ)液的頻次，適配長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)行的自動(dòng)化生產(chǎn)線。它同樣采用高純PFA擠出管材打造，流體通路全PTFE/PFA無金屬設(shè)計(jì)，最高工作溫度可達(dá)100℃，最高工作壓力7.6bar，可適配絕大多數(shù)常規(guī)高純流體工況。罐體的10個(gè)連接端口支持自定義配置，可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)需求集成更多監(jiān)測(cè)元件，還可選配稱重式液位監(jiān)測(cè)模塊，實(shí)現(xiàn)高精度的藥液剩余量計(jì)量，方便系統(tǒng)精準(zhǔn)把控罐體內(nèi)部的藥液消耗量，所有連接部位無需焊接，依靠舌槽密封結(jié)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)無泄漏，現(xiàn)場(chǎng)安裝維護(hù)非常便捷，標(biāo)配兩年質(zhì)保服務(wù)，長(zhǎng)期運(yùn)行可靠性，廣泛應(yīng)用于大尺寸面板制造、大規(guī)模濕法生產(chǎn)線的集中無脈動(dòng)流體供給系統(tǒng)中。

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FD-01是該系列的暢銷高純脈動(dòng)阻尼器，流體通路全PTFE/PFA材質(zhì)打造，無任何金屬部件接觸流體，可高效消除泵體輸送帶來的流體脈動(dòng)，將管路末端的流體壓力脈動(dòng)幅度控制在±1%以內(nèi)，適配對(duì)流體壓力穩(wěn)定性有要求的精密工藝場(chǎng)景。它的內(nèi)部采用全PTFE柔性隔膜結(jié)構(gòu)，無需內(nèi)置任何彈性體氣囊，不會(huì)出現(xiàn)彈性體溶脹污染流體的問題，最高耐受工作壓力7bar，最高工作溫度90℃，可直接串聯(lián)在泵體出口的管路中，無需額外預(yù)留大量安裝空間，安裝完成后無需復(fù)雜調(diào)試即可自動(dòng)適配管路工況，長(zhǎng)期運(yùn)行幾乎無需維護(hù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻膠輸送、精密藥液噴涂等場(chǎng)景，消除流體脈動(dòng)對(duì)工藝精度的負(fù)面影響。

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特種工況適配元件系列

EX-01防爆型高純風(fēng)囊泵是該系列的暢銷防爆型號(hào)，專為石化、特種精細(xì)化工等易燃易爆高危工況開發(fā)，整機(jī)所有電氣元件都通過ATEX/IECEx本質(zhì)安全防爆認(rèn)證，流體通路依然保持全PTFE/PFA無金屬設(shè)計(jì)，可安全輸送易燃易爆的高純有機(jī)溶劑，不會(huì)產(chǎn)生任何電火花引發(fā)安全隱患。該型號(hào)最大流量可達(dá)25升/分鐘，最高工作壓力6.9bar，整機(jī)外殼采用加厚抗沖擊非金屬材質(zhì)封裝，可耐受惡劣的工業(yè)環(huán)境，所有運(yùn)行參數(shù)都符合國(guó)際防爆安全標(biāo)準(zhǔn)，適配高危場(chǎng)景下的高純流體輸送需求，長(zhǎng)期運(yùn)行穩(wěn)定性。進(jìn)口white knight循環(huán)泵PSA015-F-L08計(jì)量泵

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HT-01高溫型高純風(fēng)囊泵是該系列的暢銷高溫專用型號(hào)，針對(duì)150℃高溫的高純流體輸送工況開發(fā)，風(fēng)囊與密封元件采用特殊改性耐高溫PTFE材質(zhì)打造，可在150℃高溫環(huán)境下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，不會(huì)出現(xiàn)材質(zhì)軟化、性能衰減的問題。它的流體通路依然保持全無金屬設(shè)計(jì)，高溫工況下也不會(huì)向流體中析出任何雜質(zhì)，最大流量可達(dá)18升/分鐘，最高工作壓力5.5bar，適配冶金、特種玻璃制造等行業(yè)的高溫高純流體輸送場(chǎng)景，解決了普通高純泵無法在超高溫工況下穩(wěn)定運(yùn)行的行業(yè)痛點(diǎn)。

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White Knight PSH系列White Knight泵

PSH系列泵是高溫、超純?cè)傺h(huán)和輸送應(yīng)用的理想解決方案。這些PTFE和PFA泵不含金屬，并配有獨(dú)特的梭閥，無需復(fù)雜的制動(dòng)器和手動(dòng)復(fù)位。它們?cè)趦赡瓯Ｐ奁趦?nèi)連續(xù)安全可靠地運(yùn)行。它們提供高達(dá)5.5巴(80 psi)的空氣供應(yīng)壓力，并在流體溫度高達(dá)145°C(293°F)的熱循環(huán)應(yīng)用中運(yùn)行。這些泵有四種型號(hào)：PSH015、PSH030、PSH060和PSH140，最大流速分別為15、30、60和140 lpm。

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White Knight PSD系列氣動(dòng)雙隔膜泵產(chǎn)品概述

White Knight PSD系列氣動(dòng)雙隔膜(AODD)泵具有PTFE或UHMW(PE)耐腐蝕流體路徑，這使得該泵非常適用于腐蝕性或有毒液體，例如酸、燃料、膠水、油漆、樹脂、油墨或廢水，以及更粘稠的流體和漿料。

泵的型號(hào)有1/4、3/8、1/2、1或1-1/2。它們具有高質(zhì)量的機(jī)械設(shè)計(jì)、獨(dú)特的密封表面和緊密的螺栓配置，以確保一致、可靠的性能和的產(chǎn)品密封性。它們沒有暴露的金屬，可以配置為各種材料，以滿足大多數(shù)磨損、溫度和化學(xué)兼容性要求。它們具有靜壓頭能力，可實(shí)現(xiàn)高流速，同時(shí)最大限度地減少空氣消耗和運(yùn)行噪音。這些泵具有非潤(rùn)滑、自吸、抗冰的空氣系統(tǒng)。

PSD系列泵易于安裝、操作和維修。它們可以在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修，以最大限度地減少維修成本、停機(jī)時(shí)間和生產(chǎn)損失。它們只需要很少的部件來重建，并且可以在需要更換其他AODD泵的情況下進(jìn)行重建，從而延長(zhǎng)泵的使用壽命并降低總擁有成本。

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White KnightPEM050電子計(jì)量泵

每次沖程分配量≤50 ml

電控可調(diào)行程

可調(diào)的沖程速度

高度準(zhǔn)確;±0.01%可重復(fù)

無外露金屬可防止腐蝕和污染

超純100%PTFE潤(rùn)濕表面，全掃流路

用于線性分配的PTFE滾動(dòng)隔膜

正入口/出口閥門可防止流過

便于設(shè)置和監(jiān)控的視覺位置參考

提供泄漏檢測(cè)

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White Knight Accuheat®PFA在線化學(xué)加熱器

間接加熱設(shè)計(jì)，無浸入式加熱元件

無需N2或氣體吹掃

大規(guī)格預(yù)成型Inconel元件可以承受高應(yīng)力條件而不會(huì)損壞

功率調(diào)節(jié)器監(jiān)控加熱元件溫度并防止外殼內(nèi)熱量積聚

密封外殼可防止化學(xué)物質(zhì)侵蝕內(nèi)部組件并提供二級(jí)密封

內(nèi)部泄漏檢測(cè)條(需要外部監(jiān)視器)可及早發(fā)現(xiàn)化學(xué)品泄漏

所有接線均采用FEP導(dǎo)管屏蔽，以防止化學(xué)腐蝕

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White Knight壓力調(diào)節(jié)器

White Knight前壓和后壓調(diào)節(jié)器提供遠(yuǎn)程引導(dǎo)功能，以維持高純度化學(xué)品循環(huán)回路和具有多個(gè)工具滴或分配點(diǎn)的系統(tǒng)的系統(tǒng)壓力。它們具有全掃過的PTFE和PFA流路。它們的工作溫度高達(dá)100°C(212°F)和7 Bar(100 psi)。它們裝有空氣彈簧，精度高，并減少系統(tǒng)脈動(dòng)。壓力調(diào)節(jié)器有1/2英寸、3/4英寸和1英寸型號(hào)—取決于管道的連接尺寸和外徑。通過的流量或管道的內(nèi)徑比連接尺寸小1/8英寸。

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White Knight產(chǎn)品型號(hào)

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氣動(dòng)風(fēng)囊泵系列

White Knight PSD06、White Knight PSD08、White Knight PSD10、White Knight PSD15、White Knight PSD20、White Knight PSD25、White Knight PSD30、White Knight PSD35、White Knight PSD40、White Knight PSD45、White Knight PSD50、White Knight PSD55、White Knight PSD60、White Knight PSD65、White Knight PSD70、White Knight PSD75、White Knight PSD80、White Knight PSD85、White Knight PSD90、White Knight PSD95

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氣動(dòng)雙隔膜泵系列

White Knight PSR025、White Knight PSR050、White Knight PSR075、White Knight PSR100、White Knight PSR125、White Knight PSR150、White Knight PSR175、White Knight PSR200、White Knight PSR225、White Knight PSR250、White Knight PSR275、White Knight PSR300、White Knight PSR325、White Knight PSR350、White Knight PSR375、White Knight PSR400、White Knight PSR425、White Knight PSR450、White Knight PSR475、White Knight PSR500

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大流量風(fēng)囊泵系列

White Knight PLF040、White Knight PLF060、White Knight PLF080、White Knight PLF100、White Knight PLF120、White Knight PLF140、White Knight PLF160、White Knight PLF180、White Knight PLF200、White Knight PLF220、White Knight PLF240、White Knight PLF260、White Knight PLF280、White Knight PLF300、White Knight PLF320、White Knight PLF340、White Knight PLF360、White Knight PLF380、White Knight PLF400、White Knight PLF420

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計(jì)量泵系列

White Knight PPM025、White Knight PPM050、White Knight PPM075、White Knight PPM100、White Knight PPM125、White Knight PPM150、White Knight PPM175、White Knight PPM200、White Knight PPM225、White Knight PPM250、White Knight PEM025、White Knight PEM050、White Knight PEM075、White Knight PEM100、White Knight PEM125、White Knight PEM150、White Knight PEM175、White Knight PEM200、White Knight PEM225、White Knight PEM250

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流體加熱系列

White Knight HF-030、White Knight HF-060、White Knight HF-090、White Knight HF-120、White Knight HF-150、White Knight HF-180、White Knight HF-210、White Knight HF-240、White Knight HF-270、White Knight HF-300、White Knight ST-100、White Knight ST-200、White Knight ST-300、White Knight ST-400、White Knight ST-500、White Knight HT-01、White Knight HT-02、White Knight HT-03、White Knight HT-04、White Knight HT-05

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高純罐體系列

White Knight VT-01、White Knight VT-02、White Knight VT-03、White Knight VT-04、White Knight VT-05、White Knight VT-06、White Knight VT-07、White Knight VT-08、White Knight VT-09、White Knight VT-10、White Knight VT-11、White Knight VT-12、White Knight VT-13、White Knight VT-14、White Knight VT-15、White Knight VT-16、White Knight VT-17、White Knight VT-18、White Knight VT-19、White Knight VT-20

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閥類與控制元件系列

White Knight HPV-01、White Knight HPV-02、White Knight HPV-03、White Knight HPV-04、White Knight HPV-05、White Knight PFAV-01、White Knight PFAV-02、White Knight PFAV-03、White Knight PFAV-04、White Knight PFAV-05、White Knight DF-01、White Knight DF-02、White Knight DF-03、White Knight DF-04、White Knight DF-05、White Knight WHV-100、White Knight WHV-200、White Knight WHV-300、White Knight WHV-400、White Knight WHV-500

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閉環(huán)控制系統(tǒng)系列

White Knight CLS-100、White Knight CLS-110、White Knight CLS-120、White Knight CLS-130、White Knight CLS-140、White Knight CLS-150、White Knight CLS-200、White Knight CLS-210、White Knight CLS-220、White Knight CLS-230、White Knight CLS-240、White Knight CLS-250、White Knight CLS-300、White Knight CLS-310、White Knight CLS-320、White Knight CLS-330、White Knight CLS-340、White Knight CLS-350、White Knight CLS-400、White Knight CLS-410

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特種工況適配系列

White Knight EX-01、White Knight EX-02、White Knight EX-03、White Knight EX-04、White Knight EX-05、White Knight EX-06、White Knight EX-07、White Knight EX-08、White Knight EX-09、White Knight EX-10、White Knight HT-01、White Knight HT-02、White Knight HT-03、White Knight HT-04、White Knight HT-05、White Knight HT-06、White Knight HT-07、White Knight HT-08、White Knight HT-09、White Knight HT-10

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White Knight泵X50 AXOS-03176A

White Knight泵PSA060-14C004

White Knight氣動(dòng)隔膜泵PSA-140

White Knight泵PXA060B-F16-SX2

Accudry®IPA蒸汽干燥機(jī)系統(tǒng)

Accuheat®PFA在線化學(xué)加熱器

PEM050電子計(jì)量泵

PSD系列氣動(dòng)雙隔膜泵

PSH系列White Knight泵