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FCS即流量控制系統(tǒng)（FlowControlSystem），是專(zhuān)為確立近年來(lái)半導(dǎo)體制程中，越來(lái)越受重視的蝕刻速率（ETCHRATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開(kāi)發(fā)出來(lái)的產(chǎn)品

株式會(huì)社富士金FUJIKIN FCS-P（壓力式流量計(jì)）產(chǎn)品詳情

FCS即流量控制系統(tǒng)（Flow Control System），是專(zhuān)為確立近年來(lái)半導(dǎo) 體制程中，

越來(lái)越受重視的蝕刻速率（ETCH RATE）或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開(kāi)發(fā)出來(lái)的產(chǎn)品。

基本操作原理有別于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì)，這是一款經(jīng)由壓力控制，從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。

FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素，提供給客戶(hù)無(wú)限制且穩(wěn)定的流量控制。

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 質(zhì)量流量計(jì)

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
高溫介質(zhì)質(zhì)量流量計(jì)	面議	北京市	北京空港北光儀表有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
供應(yīng)天然氣流量計(jì)價(jià)格	面議	淮安市	江蘇金諾儀表有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
CMF440質(zhì)量流量計(jì)	面議		北京瑞普三元儀表有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
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