產(chǎn)品簡介
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性,結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能,可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察。
①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對(duì)大型樣品的觀察
■ 樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
· 通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
· 選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
· 具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
· 紅外CCD探測(cè)器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
■ 支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
· 與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
· 覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
· 支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化,操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■ 一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■ 各種自動(dòng)化功能
· 自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自動(dòng)聚焦精度
· 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
■ Multi Zigzag,可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■ Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測(cè)試需求的應(yīng)用解決方案
■ 可滿足多種觀察需求的探測(cè)器
· 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
· 高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器,切換成分/凹凸等多種圖像
■ 配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件
■ SEM/EDS一體化功能*
■ 三維顯示測(cè)量軟件 Hitachi Map 3D*
■ 支持圖像測(cè)量軟件Image pro
產(chǎn)品參數(shù)
| ITEM | SU3800 | SU3900 | |
| 二級(jí)電子分解能 | 3.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式) | ||
| 15.0nm(加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式) | |||
| 背散射電子分解能 | 4.0nm(加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式) | ||
| 倍率 | ×5~×300,000(照片倍率*1) | ||
| ×7~×800,000(實(shí)際顯示倍率*2) | |||
| 加速電壓 | 0.3kV~30kV | ||
| 低真空度設(shè)定 | 6~650 Pa | ||
| 圖像位移 | ±50µm(WD=10mm) | ||
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 | |
| 樣品臺(tái) | X | 0~100mm | 0~150mm |
| Y | 0~50mm | 0~150mm | |
| Z | 5~65mm | 5~85mm | |
| R | 360°連續(xù) | ||
| T | -20°~+90° | ||
| 可觀察范圍 | 130mm直徑(R并用) | 200mm直徑(R并用) | |
| 可觀察高度 | 80mm(WD=10mm) | 130mm(WD=10mm) | |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) | ||
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 | |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈 | ||
| 檢測(cè)系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測(cè)器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器 | ||
| EDX分析WD | WD=10mm(T.O.A=35°) | ||
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整(AFS→ABA→AFC→ABCC) | |
| 自動(dòng)光軸調(diào)整(實(shí)時(shí)級(jí)別對(duì)齊) | |||
| 自動(dòng)調(diào)整光束亮度 | |||
| 自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對(duì)比度控制(ABCC) | ||
| 自動(dòng)對(duì)焦控制(AFC) | |||
| 自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能(ASF) | |||
| 自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整(AFS) | |||
| 自動(dòng)光束對(duì)準(zhǔn)(ABA) | |||
| 自動(dòng)啟動(dòng)(HV-ON→ABCC→AFC) | |||
| 操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入(點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量、角度測(cè)量、文本)、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能(SEM MAP)、光束標(biāo)記功能 | ||
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測(cè)器(UVD)、紅外CCD探測(cè)器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 | ||
| 配件(外部裝置) | 能量散射X射線分析儀(EDS)、波長色散X射線分析儀(WDS)、 | ||




































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