應(yīng)用
- 適用于氣體和液體介質(zhì)、具有高純度要求的侵蝕性介質(zhì)以及侵蝕性環(huán)境
- 半導(dǎo)體和平板顯示屏產(chǎn)業(yè)
- 氣體輸配系統(tǒng)
- 氣體
- 連接應(yīng)用
功能特性
- 帶隔膜元件的機(jī)械式壓力表
- 設(shè)計緊湊,死體積最小,減少了顆粒的產(chǎn)生和夾帶
- 氦泄漏試驗(yàn),泄漏率≤ 10-10 kPa · l/s
- 電拋光接液部件,隔膜元件和測量腔的表面Ra < 0.25 μm [Ra < 10 μin]
- 電拋光316L過程連接器部件,帶金屬密封盤,軌道焊到測量腔上
描述
該微型膜片壓力表可滿足有限空間內(nèi)的高純應(yīng)用需求,如較小的集成式氣棒和氣體箱組件。
標(biāo)稱尺寸為1"和1.3",非常適合涉及氣體、液體和腐蝕性介質(zhì)的應(yīng)用,壓力可達(dá)160 psi。
該微型隔膜真空計經(jīng)過氦氣泄漏測試,內(nèi)部經(jīng)過電拋光處理,符合高純度標(biāo)準(zhǔn)。
該微型隔膜真空表具有超高純特性,適用于半導(dǎo)體和平板顯示器行業(yè)、各種氣體分配系統(tǒng)以及醫(yī)療氣體應(yīng)用。
該微型隔膜真空表符合SEMATECH和SEMI標(biāo)準(zhǔn),能以方式確保應(yīng)用所需的質(zhì)量。




































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