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EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10SXR 無(wú)電極Z-PinchTM EUV(極紫外)、SXR(軟X射線)光源系列

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)EQ-10,EQ-10HR,EQ-1
  • 品牌
  • 所在地杭州市
  • 更新時(shí)間2026-10-09
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量26
  • 人氣值203
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杭州譜鐳光電技術(shù)有限公司(Hangzhou SPL Photonics Co.,Ltd)創(chuàng)立于2008年,經(jīng)過(guò)近12年公司同仁共同的的努力和發(fā)展,公司在光譜儀器、激光器系統(tǒng)及配件,生物光學(xué)和量子光學(xué)等領(lǐng)域和應(yīng)用有非常多的經(jīng)驗(yàn)和解決方案,同時(shí)也組建了一支專業(yè)的銷售和服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

 

公司秉承專業(yè)服務(wù)客戶為上的目標(biāo),一直嚴(yán)格要求,以盡善盡美為工作方向,和客戶一起前行。目前公司在光譜儀器和激光檢測(cè)系統(tǒng)方面有自己的研發(fā)能力,開發(fā)出了便攜式土壤重金屬分析儀(LIBS)、便攜式紅寶石標(biāo)壓系統(tǒng)、顯微拉曼測(cè)量系統(tǒng)等。同時(shí)公司時(shí)刻關(guān)注新的技術(shù)和產(chǎn)品,目前代理包括微型光纖光譜儀、紅外光譜儀,飛秒激光器,納秒激光器,可調(diào)諧激光器,窄線寬激光器,He-Ne激光器等各種激光器和配件。同時(shí)代理各類光電檢測(cè)設(shè)備,包括功率計(jì)、能量計(jì)、光束質(zhì)量分析系統(tǒng)、脈寬測(cè)量探測(cè)器和自相關(guān)儀、偏振態(tài)測(cè)量系統(tǒng)。還有代理各類光學(xué)配件,包括光學(xué)元器件,位移系統(tǒng),濾波片。

 

 

目前公司主要代理品牌如下:

美國(guó)海洋光學(xué):光纖光譜儀及配件;

美國(guó)CEO:激光二極管,二極管側(cè)泵模塊,各類納秒激光器,激光控制器;

奧地利Montfrot:適用于便攜的超緊湊納秒高能量激光器,大功率皮秒、飛秒激光器;

美國(guó)EOT:高品質(zhì)隔離器、各類光電探測(cè)器;

美國(guó)DataRay: 光束質(zhì)量分析系統(tǒng)及配件;

德國(guó)CarbonVision:高品質(zhì)碳纖維面包板及定制產(chǎn)品;

丹麥DFM:?jiǎn)晤l激光器;

德國(guó)GRINTECH:自聚焦透鏡、生物醫(yī)學(xué)用定制透鏡系統(tǒng);

法國(guó)IRISIOME:皮秒可編程調(diào)諧激光器;

德國(guó)LIOP:超穩(wěn)定高精度光學(xué)調(diào)整架及光機(jī)械產(chǎn)品;

德國(guó)MRC:光束自穩(wěn)定系統(tǒng);

立陶宛QLI:高能量緊湊風(fēng)冷納秒激光器,可五倍頻到213nm;

美國(guó)Axsun:OCT用高速掃頻激光光源;

專譜ProSP:各類定制光譜系統(tǒng);

立陶宛Integrated Optics:超緊湊穩(wěn)定的半導(dǎo)體和DPSS激光器;

德國(guó)Class 5:高功率飛秒激光器系統(tǒng),OPCPA系統(tǒng)。

點(diǎn)擊展示更多內(nèi)容
的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率 !型號(hào):EQ-10,EQ-10HR,EQ-10HP,EQ-10SXR
無(wú)電極Z-PinchTM EUV(極紫外)、SXR(軟X射線)光源系列 產(chǎn)品詳情

Energetiq光源是一款高亮度,高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬譜光源,采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù),這種光源從170nm通過(guò)可見(jiàn)光到近紅外2100nm范圍內(nèi)亮度、光譜平坦,壽命比傳統(tǒng)光源高一個(gè)數(shù)量級(jí)。

無(wú)電極Z-PinchTM  EUV(極紫外)、SXR(軟X射線)光源系列

 

Energetiq獨(dú)特的技術(shù)基于Z-Pinch等離子體,但是不使用電極而是通過(guò)電感將電流耦合進(jìn)入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過(guò)磁性遠(yuǎn)離光源內(nèi)壁,能夠?qū)嶝?fù)載消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)有的空間穩(wěn)定性和穩(wěn)定的可重復(fù)輸出功率。

 

主要特點(diǎn)

  • 輸出波長(zhǎng)13.5nm,2nm-4nmTM

  • 輸出功率10W@13.5±1%(可選20W型號(hào))

  • 重復(fù)頻率2kHz(可選10kHz型號(hào))

  • 無(wú)電極Z-Pinch技術(shù)

  • 符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

 

主要應(yīng)用

  • EUV度量學(xué)

  • 耐EUV開發(fā)

  • 缺陷檢測(cè)

  • EUV顯微學(xué)

  • 水窗顯微鏡(XSR版本)

 

選型指南

 

img2img3

 

10
 

型號(hào)

EQ-10

EQ-10HR

EQ-10HP

EQ-10SXR

輸出功率   (用氙氣在2π球面)

10W,13.5nm,±1%寬帶

-

20W,13.5nm,±1%寬帶

400mW,2.8nm,產(chǎn)生2-4nm軟X射線

脈沖重復(fù)率

1200 to 2000 Hz

10kHz

1200 to 2500 Hz

2kHz

尺寸

小等離子體尺寸

殘留情況

低殘留

工作壓強(qiáng)

一般70到100 mTorr

一般150 mTorr

一般70到150 mTorr

-

氙氣流速

一般5到15 sccm

一般100 sccm

一般5到15 sccm

-

低成本

氙氣流速低,將消耗成本降低,占地面小

可靠性強(qiáng)

無(wú)電極Z-Pinch技術(shù),符合CE標(biāo)志和SEMI S2-0703

應(yīng)用

EUV度量學(xué)

耐EUV開發(fā)

缺陷檢測(cè)

EUV顯微學(xué)

EUV光學(xué)元件測(cè)量

EUV計(jì)量學(xué)

耐EUV開發(fā)

缺陷檢測(cè)

EUV顯微學(xué)

EUV掩膜檢測(cè)

EUV度量學(xué)

耐EUV開發(fā)

EUV顯微學(xué)

水窗顯微鏡

細(xì)胞微光束探測(cè)

 

關(guān)鍵詞:顯微鏡
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