XENOS可在各類要求高測量度的域使用

創(chuàng)新的機械設計
ZEISS XENOS新型的機械設計基于經過驗證的ZEISS CenterMax,令人印象深刻。與標準橋式測量機不同：丫導軌 分布于側壁部，分離式移動行程軸僅 橫梁于丫軸方向移動，更小及恒定的移 動重量一一與移動式平臺相比堪稱 的勢。更低及恒定的移動重量造就了 加速及高速度的統(tǒng)一。

所有軸均采用線性驅動
XENOS的所有軸均采用線性驅動。其點：高速、加速快、定位度高、驅動無剪切力影響結合超高分辨率光柵 尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高 度穩(wěn)定性及低于結合超高分辨率光柵 尺技術，XENOS的線性驅動可獲得高 度穩(wěn)定性及低于100納米的高定位度。例如，測針偏移量越恒定，即可獲得更佳的測量度。于測量曲面時更顯見另一勢：測針的移動路徑與預定值越吻合，即可實現越出色的確性。

虛擬驅動
于測量曲面時更顯見另一勢：測針的 移動路徑與預定值越吻合，即可實現越 出色的確性。虛擬驅動XENOS 于丫軸向配備雙線性驅動系統(tǒng)，得益于 蔡司新的驅動技術可實現異 的同步控制。該技術可據X軸位置 分布驅動力作為新控制系統(tǒng)及算法 之結合，這是在整個測量范圍內獲 得異的測量度及運動穩(wěn)定性的關 鍵因素。

碳化硅陶瓷
XENOS于丫軸向配備雙線性驅動系統(tǒng)，得益于蔡司新的驅動技術可實 現異的同步控制。該技術可據X軸位 置分布驅動力作為新控制系統(tǒng)及算法之結合，這是在整個測量范 圍內獲得異的測量度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。碳化硅陶瓷XENOS在 與度密切相關的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產品或度的測量機器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比，碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可大提升30°%,同時減重20°%。

加強型VAST gold
XENOS采用ZEISS VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中，蔡司在測量度和 測量重復度方面對該探頭進行了化 XENOS也采用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與大長度為800毫米的 測針以及大重量為500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。

 
ZEISS VAST gold