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深圳市科銳詩汀科技有限公司，位于中國改革開放的前沿城市——深圳，坐落在深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處*大道B座（寫字樓）6I。

公司交通便利，乘坐地鐵11號線碧海灣站，地鐵1號線西鄉(xiāng)站即可到達。

公司專注于真空及鍍膜設備行業(yè)，致力于把世界上真空產品和設備引進中國，為我們的客戶創(chuàng)造更多的價值。

多年來，在真空及鍍膜行業(yè)，我們積累了豐富的專業(yè)知識和行業(yè)經驗，誠信為廣大客戶提供優(yōu)質的服務, 在真空、光學、電子、半導體、平板顯示、LED、太陽能等相關領域，我們與客戶緊密合作，共贏發(fā)展，擁有了大量的優(yōu)質合作伙伴。

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產品簡介在線詢價

產地	進口	加工定制	否

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統(tǒng)軸承相比具有更輕、更硬和更平穩(wěn)的優(yōu)點，以及壽命長、小振動的優(yōu)點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

EDWARDS復合渦輪分子泵產品詳情

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵

性能特點

高臨界前級壓力。

高體積流速。

* 抽速快。

多級Holweck分子拖曳結構，對輕氣體產生高壓縮比。

極限真空<10E-10 mbar 。

復合軸承。

免維護。

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵

技術數(shù)據(jù)

主入口法蘭 DN160ISO-K
出口法蘭		DN25NW
放氣口		1/8 inch BSP
吹掃凈化口		1/8 inch BSP
入口泵速*
	N2	540 l/s
	He	580 l/s
壓縮比
	N2	>10E10
	He	10E8
前級泵（推薦）		RV12
zui高入口壓力（ N2, He）**
	水冷（水溫15°C）	2 x 10E-3 mbar
	空冷（大氣溫度30°C）	1 x 10E-3 mbar
	空冷（大氣溫度35°C）	5 x 10E-4 mbar
額定轉速		50000 rpm
轉速達到90%所需時間 **
	EXC250	5 min
	EXC300	6.5 min
	EXDC160	8 min
冷卻方式		空冷/水冷
大氣溫度（空冷）		0-35 °C
推薦冷卻水流速（水溫15 °C）		15 l/h
水溫范圍		10-20 °C
入口法蘭zui高溫度		100 °C
工作姿態(tài)		垂直
噪音（1m處）		<60 dB（A）
zui大磁場
	軸向	<7 mT
	徑向	<3 mT
靜止功耗		35 W

* 沒安裝入口篩網。安裝篩網時，泵速下降約20%。
** 前級壓力<0.3 mbar，大于此轉速下降。

EXT556H EDWARDS復合渦輪分子泵

安裝尺寸

A 入口ISO100

B 入口ISO160

C 放氣口

D 接地

E 吹掃凈化口

F 前級泵口

G 電連接

H 底部安裝孔（8個）/橡膠腳（4個）

EXT556H渦輪分子泵特性曲線

訂貨信息

描述	貨號
EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160ISO-K	B777-51-000
EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160CF	B777-52-000
EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160ISO-K （馬氏體外殼）	B777-57-000
EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160CF （馬氏體外殼）	B777-58-000
EXT556H 復合渦輪分子泵 DN160ISO-K （精美入口篩網）	B777-61-000
EXC250E	D396-35-000
EXC250L	D396-36-000
EXC300	D396-14-000

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