儀器簡介：
NTEGRA平臺是一個革命性的技術(shù)概念，在擁有所有SPM技術(shù)：原子力/磁力/靜電力/表面電勢/導(dǎo)電原子/掃描電容/壓電力/納米刻蝕等功能的同時，還能配備近場光學(xué)顯微鏡/共聚焦拉曼/外加磁場/超聲原子力/納米壓痕等功能！。Prima則是這個平臺中的基礎(chǔ)SPM，可以在此基礎(chǔ)上根據(jù)科 研需求提供多達40 中SPM 功能，其中的每種功能都有一套在其專業(yè)領(lǐng)域有著杰出表現(xiàn)的*配置?？蛇x擇配備*的雙掃描結(jié)構(gòu)可以將掃描范圍擴展zui大到200x200um。

技術(shù)參數(shù)：
在大氣環(huán)境下：掃描隧道顯微鏡/ 原子力顯微鏡（接觸 +半接觸+非接觸）/橫向力顯微鏡/相位成像/力調(diào)制/力譜線/粘附力成像/磁力顯微鏡/靜電力顯 微鏡/掃描電容顯微鏡/開爾文探針顯微鏡/擴展電阻成像/納米壓痕/刻蝕: 原子力顯微鏡（電壓+力）/壓電力模式/超聲原子力/外加磁場/溫度控制/氣氛控制等功能。
在液體環(huán)境下：原子力顯微鏡（接觸+半接觸+非接觸）/橫向力顯微鏡/相位成像/力調(diào)制/粘附力成像/力譜/刻蝕:
測量頭部：AFM和SPM可選配液相模式和納米壓痕測量頭 
掃描方式：樣品掃描、針尖掃描、雙掃描
zui大樣品尺寸：樣品掃描：直徑40mm，厚度15mm。針尖掃描：樣品無限制 
XY樣品定位裝置：移動范圍5×5um，精度5um 
掃描范圍：90×90×9um（帶傳感器/閉環(huán)控制），可選配低電壓模式實現(xiàn)原子級分辨
XY方向非線性度：≤0.5%（帶傳感器/閉環(huán)控制） 
Z方向噪音水平（帶寬1000Hz時的RMS值）：閉環(huán)控制掃描器（典型值0.04nm，zui大0.06nm）
光學(xué)顯微系統(tǒng)：配備高數(shù)值孔徑物鏡后，分辨率可由3um提升至1um
樣品溫度控制：室溫~300℃ 

主要特點：
Ntegra Prima 是一個基本的SPM 系統(tǒng)，在這平臺上可以根據(jù)科研需要提供40 種SPM 功能。 
Ntegra Aura 是一款能在氣氛控制以及低真空環(huán)境下工作的SPM，專門用于電磁等測量。 
Ntegra Therma 只有10nm/h 熱漂移能長時間可靠工作，并且能在-30℃~300℃環(huán)境下測量。 
Ntegra Maximus 能夠測量100mm 的大樣品，在半自動模式下可以連續(xù)工作。 
Ntegra Solaris 是一款近場光顯微鏡，能夠提供所有近場探測模式，從而突破衍射極限。 
Ntegra Vita 能與倒置顯微鏡聯(lián)用，專門用于生物方面的檢測。 
Ntegra Tomo 能與超薄切片機聯(lián)用，且制備用于研究的納米片層的新鮮表面（也適用于電鏡）。 
Ntegra Spectra 集成了AFM-SNOM-Confocal-Raman 從而實現(xiàn)針尖增強（TERS）

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