硅片檢測顯微鏡VHM-500http://www.vihent.com

透反射式硅片檢測顯微鏡VHM-500主要用于太陽能電池硅片的觀察.它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強，成像較清晰和寬闊，又具有長工作距離，并具有較大的視場范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù), 配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍顯微鏡。

可以觀察到肉眼難觀測的位錯、劃痕、崩邊等;還可以對硅片的雜質(zhì)、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括: 顆粒、有機雜質(zhì)、無機雜質(zhì)、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發(fā)生變花、發(fā)藍、發(fā)黑等現(xiàn)象，使磨片不合格. 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進行質(zhì)量控制zui普通的儀器. http://www.vihent.com

1.物鏡

  反射物鏡 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X（明場/暗場）,Pc63X

  透射物鏡 Pc4X,Pc10X,Pc25X,Pc40X,Pc100X

2.目鏡

  8X,10X,10X（帶0.1mm分劃值）,12.5X，16X

3.光學總放大倍數(shù)：40X-2000X 

4.測微尺: 0.01mm物鏡測微尺

5.物載片平板

6.濾色片:藍,綠,黃,灰,毛玻片

7.檢偏鏡

8.燈泡:12V50W鹵素燈

9.光源：落射光和透射光

10.成像系統(tǒng):500萬高像素的數(shù)字攝像頭http://www.vihent.com

電腦型（VHM-500）: 1、顯微微 2、適配鏡 3、500萬高像素攝像頭4、計算機（選配）

    電腦型（VHM-500）：50--4000倍 （17寸顯示器為例）

1.二維測量軟件VH-100  2.目鏡： 20X 10X（帶刻度）  3.物鏡：20X  80X

上海維翰光電科技有限公司

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