基本參數(shù)：

• 主要特征：
          臺式設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊精致
          低、中、高三檔可調(diào)節(jié)功率，zui大可為18W
          設(shè)備輻射小，安全環(huán)保

• 外形尺寸：
          8.5"H x 10"W x 8"D（215mm x 254mm x 203mm）
• 重量：
          6.0kg
• 輸入電源：
          220 V／50Hz
• 輸入功率：
          100 W
• 功率檔：
          低檔680V DC、10mA DC、6.8W
          中檔700V DC、15mA DC、10.5W
          高檔720V DC、25mA DC、18W
• 常用工作氣體：
          空氣、氬氣、氮氣或混合氣體等
• 基本配置：
          直徑3英寸，長6.5英寸的耐熱玻璃艙體。
          可拆卸艙蓋。
          zui大為18W的RF線圈。
          1/8英寸NPT針閥
          1/8英寸NPT三通閥
• 選配件：
          石英等離子清洗艙
          石英托盤（用于放置樣品）
          氣體計量混合器Plasma FloTM
• 周邊設(shè)備：
          基本型真空泵（PDC-VPE-2）

可選件：

• 選件一：氣體計量混合器PlasmaFloTM
  
  功能及配置簡介：
  1、Harrick  PlasmaFloTM氣體計量混合器是一臺可任選的以滿足客戶的不同需求的備件。主要應(yīng)用于樣品的表面改性。
  2、在等離子清洗過程中氣體流混合和壓力監(jiān)視。
  3、為向艙內(nèi)注入兩種氣體提供了可能。
  4、含兩個標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計（1.0 SCFH & 2.0 SCFH）
  5、溫差電偶真空度表測量艙內(nèi)壓力
  6、適用氣體：空氣、氮氣、氬氣或混合氣體。
  7、尺寸：8 1/2"H x 10"W x 8"D
  8、訂貨號：PDC-FMG-2  
• 選件二：真空泵
  
  Harrick等離子清洗需要使用zui小1.4 m3/hr （0.83 cfm），壓力為200 mTorr （0.27 mbar）的真空泵。Harrick 提供兩種可選型號：
     1、PDC-VP-2 （220V）
            抽真空速度（50/60 Hz）: 3.2/3.6 m3/hr
            極限壓力（氣鎮(zhèn)關(guān)）：1.5 mTorr
            極限壓力（氣鎮(zhèn)開）：23 mTorr
            電機(jī)功率：（50/60 Hz）: 250/300 W
            重量: 34 lbs
            尺寸: 9"H x 15"W x 5"D
     2、PDC-VPE-2 （220V）
            抽真空速度（50/60 Hz）: 5.1 m3/hr
            極限壓力（氣鎮(zhèn)關(guān)）: 7.5 mTorr
            極限壓力（氣鎮(zhèn)開: 150 mTorr
            電機(jī)功率（50/60 Hz）: 373 W
            重量: 27 lbs
           尺寸: 9 3/4"H x 14"W x 5 1/2 D"  
• 選件三：石英等離子清洗艙及托盤