| 表面粗さ | |
| 解析パラメータ | 46種 |
| 測定範(fàn)囲 | Z:600μm X:100mm |
| 觸針 | R2μm 0.7mN |
| 輪郭形狀 | |
| 解析項(xiàng)目 | 要素/スカラ量/非球面/ボールねじ/マスタ比較 |
| 測定範(fàn)囲 | Z:50mm X:100mm |
| 觸針 | R25μm 30mN以下 |




































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