膜厚測量儀
產(chǎn) 品 說 明
薄膜測量 薄膜厚度 新澤西Salt Point公司開發(fā)的薄膜監(jiān)測系統(tǒng)（TDS），在寬帶溶解率監(jiān)測儀（DRM）中集成了一套海洋光學(xué)多通道光譜儀，用來分析半導(dǎo)體和光學(xué)工業(yè)中使用的超薄的抗蝕膜。 DRM幫助客戶確定膜層的厚度以及應(yīng)用抗蝕膜后的材料溶解速率這都是控制薄膜生產(chǎn)工藝的重要參數(shù)。在初始化測試中，薄膜監(jiān)測解決方案主要針對膜厚<300nm的應(yīng)用，相對而言，傳統(tǒng)的單色和多色干涉測量方法在該測量應(yīng)用中的效果較差。在測試中，TDS采用了一個SD2000雙通道光譜儀，通過一個R系列反射探頭來實現(xiàn)反射式測量。 TDS在其上的報告中的結(jié)果顯示了多波長DRM系統(tǒng)能夠在離散的時間間隔內(nèi)測定薄膜厚度，傳統(tǒng)的DRM系統(tǒng)要監(jiān)測光阻材料比較困難，并且，通過免去了對離散的靜態(tài)的光學(xué)厚度測量工具的需求，也給研究者提供了相應(yīng)附加值。 目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDSzui近正好發(fā)布了它的L系列DRM產(chǎn)品線，新產(chǎn)品可以用于光阻材料的研發(fā)，配方研究，光阻材料生產(chǎn)的質(zhì)量控制，以及聚合樹脂生產(chǎn)的質(zhì)量控制。L系列產(chǎn)品線包括多波長和多層分析算法，實現(xiàn)對零度薄膜的離散厚度測量，并且提供非線性溶解速率現(xiàn)象的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。更詳細(xì)的信息請訪問：www.thicknessdetection.com. 概要 附著在基底上的薄膜就如同一個標(biāo)準(zhǔn)具，當(dāng)觀察其表面的反射率時會看到一幅干涉條紋圖樣。當(dāng)組合不同折射率的材料時，條紋間隔的正弦曲線分布可以用來計算此薄膜的厚度。 光譜儀 USB4000-VIS-NIR （350-1000nm）適合用于薄膜的反射測量。光譜儀預(yù)先配置了#3光柵，它的閃耀波長在500nm；一個OFLV-350-1000濾光片可以屏蔽二級和三級衍射效應(yīng)；以及一個25μm 狹縫，可以得到~1.5nm （FWHM）的光學(xué)分辨率。 取樣光學(xué)元件 R400-7-VIS/NIR反射式探頭，90°測量薄膜表面的鏡面反射。再加上一個LS-1鹵鎢燈光源和一個STANSSH高反射率鏡面反射標(biāo)準(zhǔn)參考，組成一套取樣配置。 測量 從海洋光學(xué)的操作軟件中（見上圖）可以觀察到由薄膜基底的膜層產(chǎn)生的干涉光譜。分析zui大值和zui小值處的波長可以確定薄膜的厚度（已知薄膜的折射率）或者確定它的折射率（已知薄膜的厚度）。需要注意的是，樣本的厚度可能不是均勻的；建議測量薄膜的多個位置點。

【光譜測試儀器】

 光纖光譜儀  微型光纖光譜儀  高分辨率光譜儀  高靈敏度光譜儀  制冷型光譜儀  中紅外光譜儀  熒光光譜儀  拉曼光譜儀  極紫外光譜儀  真空紫外光譜儀  多通道光譜儀  教學(xué)型光譜儀  LED光測量光譜儀  色坐標(biāo)色溫測量儀  燈具光譜測量儀  透射譜吸光度光譜儀  輻射光譜儀  流體吸光度光譜儀  流體熒光光譜儀  膜厚測量儀  橢偏儀  太陽能電池IPCE測量系統(tǒng)  太陽能電池QE測量系統(tǒng)  太陽能電池光譜響應(yīng)系統(tǒng)  單色儀  濾光片輪  濾光片透射率測試儀  太赫茲光譜儀  等離子體光譜儀  環(huán)境輻射儀  近紅外光譜儀  元素分析儀  氧含量測量  信號發(fā)生器  近紅外谷物接收系統(tǒng)  顆粒分析儀  熒光壽命光譜儀  三維表面輪廓儀  微型光譜儀 

【光學(xué)精密機械】

 干涉儀  光學(xué)平臺  光學(xué)鏡架  手動平移臺  手動旋轉(zhuǎn)臺  手動擺動臺  手動組合平臺  電動平移臺  電動轉(zhuǎn)動臺  電動擺動平臺  電動組合平臺  壓電陶瓷平臺  壓電陶瓷制動器  高穩(wěn)定防震平臺 

【光源】

 氙燈光源  氘燈光源  氘鹵雙光源  LED光源燈  鹵素?zé)艄庠?nbsp; 光催化氙燈光源  積分球  積分球均勻光源  太陽模擬器  紫外固化機  寬帶超連續(xù)光源  顯微鏡光源 

【光學(xué)影像】

 紫外CCD相機  近紅外CCD相機  制冷型CCD相機  高速相機  夜視儀  顯微鏡  CID相機  紅外相機/熱像儀 

【探測器】

 照度計  亮度計  輻射計  便攜式色差計  太陽光功率計  快速反應(yīng)探測器  前置放大探測器  光纖耦合探測器  液氮制冷探測器  皮秒超快探測器  位敏探測器  四象限探測器  雙色探測器  紫外輻照計  硅光電探測器  近紅外探測器  中紅外探測器  雪崩二極管  光電倍增管 

【光學(xué)元件】

 窗片/窗口  反射鏡  透鏡  光學(xué)基片  分光鏡  棱鏡  晶體  濾光片  波長板  擴散板  起偏器  光學(xué)鏡頭  光纖產(chǎn)品  光柵尺  紅外鏡頭  光柵