| MODEL | GYC-1510 XYZ | GYC2010F | GYC2515F | GYC3020F | GYC4030F | GYC5030F |
| 量程 | 150*100*175 | 200*100*175 | 250*150*175 | 300*200*175 | 400*300*175 | 500*300*175 |
| 尺寸 | 540*560*850 | 540*560*850 | 760*600*900 | 760*600*900 | 970*670*940 | 970*770*940 |
| CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | |||||
| X,Y軸量測(cè)精度 | (3+L/200)um | |||||
| 光學(xué)放大率 | 0.7—4.5X | |||||
| 影像放大率 | 28—180X | |||||
| 光學(xué)尺解析度 | 1um | |||||
| 合適溫度,溫度濕度 | 19°--24° | |||||
| 重復(fù)性 | 2um | |||||




































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