德國(guó)BMT WLI白光干涉儀

       采用ACM 600 共焦顯微鏡可對(duì)物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測(cè)量，評(píng)估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測(cè)量視場(chǎng)大小和精度也不同。視場(chǎng)的擴(kuò)展可通過釘合的方式來實(shí)現(xiàn)。 
       ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤，使采集的單個(gè)測(cè)量點(diǎn)相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比，微透鏡掃描盤使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測(cè)量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測(cè)量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無(wú)限長(zhǎng)。儀器配備了物鏡切換盤，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
       檢測(cè)物件的設(shè)定和測(cè)量全過程可以通過一個(gè)獨(dú)立的監(jiān)視器觀察。測(cè)量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評(píng)估程序。 
       儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動(dòng)伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。

主要用途：
◆  粗糙和光滑表面的測(cè)量和顯示
◆  亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測(cè)量
◆  金相測(cè)量
◆  非接觸式表面輪廓的計(jì)量

主要特點(diǎn)
◆  0,1mm2到0,7mm2視場(chǎng)
◆  采用釘合方式擴(kuò)大視場(chǎng)
◆  配置物鏡切換盤
◆  確定垂直分辨率來設(shè)定測(cè)量時(shí)間
◆  橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm 
◆  具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)
◆  全自動(dòng)數(shù)據(jù)評(píng)估
◆  實(shí)驗(yàn)室和在線兩用設(shè)計(jì)

主要優(yōu)點(diǎn)：
◆  高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對(duì)物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化
◆  測(cè)量結(jié)果與材料表面性能無(wú)關(guān)
◆  根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
◆  無(wú)人干預(yù)全自動(dòng)測(cè)量過程
◆  將微透鏡掃描盤自動(dòng)伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
◆  采用壓電驅(qū)動(dòng)或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描