微橋氣流質(zhì)量傳感器是基于氣流流過傳感元件的熱傳輸工作原理，傳感器輸出電壓正比于流過內(nèi)部傳感元件的
進出口的空氣或其他氣體質(zhì)量。
基于的微結(jié)構(gòu)技術(shù)，傳感器內(nèi)含一塊*的硅芯片-它包含薄膜電路、發(fā)熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路，
橋電路對流過芯片的氣流快速、靈敏的響應(yīng)。發(fā)熱體兩側(cè)的敏感元件還能指示氣流流過的方向。激光校整的厚膜電
路及薄膜電阻保證了每個元器件*的性能。
微橋式氣流質(zhì)量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中，他們被懸掛起來在硅片刻
蝕空洞上形成橋狀，如右圖顯示，芯片被精確的安放在氣流通道上，流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供
發(fā)熱體和熱敏元件之間高效的熱隔離。微橋式氣流質(zhì)量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應(yīng)及高靈敏度。
特殊設(shè)計的殼體精確地引導(dǎo)和控制氣流流過微橋，并能很方便的安裝在印刷線路板上。
雙惠斯頓電橋控制氣流的測量一個提供閉環(huán)的發(fā)熱器控制，另一個包含雙傳感元件，發(fā)熱器控制線路把由于周
圍環(huán)境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到zui小程度。此線路保持發(fā)熱器溫度恒定高于周圍環(huán)境溫度160­C，周圍環(huán)
境溫度由芯片上的熱敏電阻測量得知，惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過芯片表面，另外熱遷移效應(yīng)能移走微米級的粒子，清潔了微電路，使用一些運用中可能
存在的污染被減少，在我們的加速壽命試驗中，在低于50sccm速度氣流的典型的工業(yè)環(huán)境下，氣流質(zhì)量傳感器能達到20 年的預(yù)測壽命。
由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡單地使用過濾網(wǎng)而*解決，使用小格柵和高氣流阻抗的過濾網(wǎng)可得到*的過濾效果- 當(dāng)大量灰塵堆積在過濾網(wǎng)上時，綜合阻抗不會顯著變化，可采用一次性使用的5 微米格柵的過濾網(wǎng)。
特點：
* 的微加工技術(shù)
* 低氣流速度敏感-0.1sccm
* zui高檢測流量200 升/ 分鐘
* 快速響應(yīng)，低電流損耗，高反應(yīng)重復(fù)性
* 激光刻蝕提供了器件的*性
* 低壓力精確測量（0.001-4”水柱）
典型運用：
* HVAC 的風(fēng)門擋板控制
* 氣體分析儀
* 低真空控制
* 過程控制
* 科研呼吸儀和肺活量儀
* 氧氣供應(yīng)
* 麻醉控制儀
* 氣體標(biāo)定