采用L型移動橋式，由兩到三個高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌，左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動橋，提高了運動質(zhì)心，減少了阿貝誤差
   X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽極化處理的航空鋁合金u
   Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌u
   Z軸采用的可調(diào)式氣動平衡設(shè)計，采用柔性懸掛系統(tǒng)，避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題，提高了測量機的精度和*穩(wěn)定性u 
   各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強型同步帶，確保運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位u
   三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌*受磨損u
   三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺，系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um；同時采用一端固定，一端自由伸縮的方式安裝，減少了光柵尺的變形，保證在溫度變化時的線性伸縮u  采用IDC-II控制系統(tǒng)，21項誤差空間修正技術(shù)和自動調(diào)諧功能，保證了大型機器的動態(tài)性能和測量精度u
   測量機三軸都配置溫度傳感器，實時監(jiān)控溫度變化，自動補償由于溫度變化而引起的誤差u
   軟件為業(yè)界的PC-DMIS BASIC （/PC-DMIS PREMIUM），功能*，易學(xué)高效u