精確地探測大氣中高濃度的水-大約(%V01)是一項富有挑戰(zhàn)性的技術(shù)。edyne公司充分利用其50年的技術(shù),成功地開發(fā)出了ppb/ppm級水分析儀,生產(chǎn)了備受贊譽的微量水分析儀-8800系列。
核心產(chǎn)品—超薄膜(HTF)Al2O3技術(shù)
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8800系列采用超薄膜(HTF)Al2O3技術(shù),可精確地探測任何場合下的微量水。
所有的Al2O3傳感 器遵循的工作原理:上層金膜、下層為鋁。氯化鋁層的水含量變化引起介電常數(shù)的改變,導(dǎo)致電容的改變。從而檢測出水的含量。
8800系列采用的HTF超薄膜技術(shù)與其它傳統(tǒng)的氧化鋁傳感器相比具有杰出的線性和穩(wěn)定性,回應(yīng)時間快。
HTF層
HTF傳感器有極薄的氧化層且不影響氧化層的強度。氧化層越薄則電容變越大信號也越強。
隔離層
HTF傳感器中,在氧層與鋁層之間是均勻的幾何孔洞,內(nèi)層產(chǎn)生電容和電極緊密連接,輪流導(dǎo)致傳感器強濕度到干容量比率。這樣益處是受溫度、電噪音和老化漂移等干擾因素影響小。
幾何原理 :HTF與傳統(tǒng)傳感器zui大的區(qū)別在于采用幾何孔洞原理。
傳統(tǒng)傳感器依賴吸濕性Al2O3構(gòu)造吸附水,HTF傳感器設(shè)計成電介質(zhì)在孔洞中的改變導(dǎo)致電容的改變。幾何孔洞在測量過程中結(jié)構(gòu)變化很小,傳感器不易老化并保持*穩(wěn)定,壽命長。一般情況下不需標定。
























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